Vodilni obroči za premaz TaC

Kot vodilni proizvajalec izdelkov vodilnih obročev s prevleko TaC na Kitajskem so vodilni obroči VeTek Semiconductor s prevleko iz TaC pomembne komponente v opremi MOCVD, ki zagotavljajo natančno in stabilno dovajanje plina med epitaksialno rastjo in so nepogrešljiv material pri epitaksialni rasti polprevodnikov. Dobrodošli, da se posvetujete z nami.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Funkcija vodilnih obročev za prevleko TaC:

Natančen nadzor pretoka plina: TheVodilni obroč za premaz TaCje strateško postavljen znotraj sistema za vbrizgavanje plinaMOCVD reaktor. njegova primarna funkcija je usmerjanje toka predhodnih plinov in zagotavljanje njihove enakomerne porazdelitve po površini substratne rezine. Ta natančen nadzor nad dinamiko pretoka plina je bistvenega pomena za doseganje enakomerne rasti epitaksialne plasti in želenih lastnosti materiala.

Toplotno upravljanje: TaC prevlečni vodilni obroči pogosto delujejo pri povišanih temperaturah zaradi svoje bližine segretemu suceptorju in substratu. TaC-jeva odlična toplotna prevodnost pomaga učinkovito odvajati toploto, preprečuje lokalno pregrevanje in ohranja stabilen temperaturni profil znotraj reakcijskega območja.

Prednosti TaC v MOCVD:

Odpornost na ekstremne temperature: TaC se ponaša z enim najvišjih tališč med vsemi materiali, ki presega 3800°C.

Izjemna kemična inertnost: TaC kaže izjemno odpornost proti koroziji in kemičnim napadom reaktivnih predhodnih plinov, ki se uporabljajo v MOCVD, kot so amoniak, silan in različne kovinsko-organske spojine.

Fizikalne lastnostiTaC prevleka:

Fizikalne lastnostiTaC prevleka
Gostota	14,3 (g/cm³)
Specifična emisijska sposobnost	0.3
Koeficient toplotnega raztezanja	6,3*10^-6/K
Trdota (HK)	2000 HK
Odpornost	1×10^-5Ohm*cm
Toplotna stabilnost	<2500 ℃
Spremembe velikosti grafita	-10~-20um
Debelina nanosa	Tipična vrednost ≥20um (35um±10um)

Prednosti za delovanje MOCVD:

Uporaba vodilnega obroča VeTek za polprevodniško prevleko TaC v opremi MOCVD znatno prispeva k:

Podaljšan čas delovanja opreme: Vzdržljivost in podaljšana življenjska doba vodilnega obroča za prevleko TaC zmanjšata potrebo po pogostih zamenjavah, kar zmanjša čas izpadov vzdrževanja in poveča učinkovitost delovanja sistema MOCVD.

Enhanced Process Stability: Toplotna stabilnost in kemična inertnost TaC prispevata k bolj stabilnemu in nadzorovanemu reakcijskemu okolju znotraj komore MOCVD, kar zmanjšuje variacije procesa in izboljšuje ponovljivost.

Izboljšana enotnost epitaksialne plasti: Natančen nadzor pretoka plina, ki ga omogočajo vodilni obroči za prevleko TaC, zagotavlja enakomerno porazdelitev predhodnika, kar ima za posledico zelo enakomernorast epitaksialne plastiz dosledno debelino in sestavo.

Prevleka iz tantalovega karbida (TaC).na mikroskopskem prerezu:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 1

Hot Tags: Vodilni obroči za prevleko TaC, Proizvajalec, dobavitelj, Obroč za prevleko TaC za MOCVD, prilagojen, Vodilni obroč za prevleko TaC, vzdržljiv, izdelan na Kitajskem

Oznaka izdelka

Povezana kategorija