TaC Coating Grelec

VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in inovator TaC Coating Heater na Kitajskem. Ta izdelek ima izjemno visoko tališče (približno 3880 °C). Visoko tališče TaC Coating Heater omogoča, da deluje pri izjemno visokih temperaturah, zlasti pri rasti epitaksialnih plasti galijevega nitrida (GaN) v postopku kemičnega naparjevanja kovin (MOCVD). VeTek Semiconductor je zavezan zagotavljanju napredne tehnologije in proizvodnih rešitev za industrijo polprevodnikov. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

TaC Coating Heater je visokozmogljiv grelni element, ki se pogosto uporablja v proizvodnih procesih polprevodnikov. Njegova površina je prevlečena z materialom tantalov karbid (TaC), ki daje grelniku odlično odpornost na visoke temperature, odpornost proti kemični koroziji in odlično toplotno prevodnost.

Glavne uporabe TaC Coating Heater v proizvodnji polprevodnikov vključujejo:

Med postopkom epitaksialne rasti galijevega nitrida (GaN) TaC Coating Heater zagotavlja natančno nadzorovano visokotemperaturno okolje, ki zagotavlja, da se epitaksialna plast nanese na podlago z enakomerno hitrostjo in visoko kakovostjo. Njegova stabilna toplotna moč pomaga doseči natančen nadzor tankoslojnih materialov in s tem izboljša delovanje naprave.

Poleg tega se v postopku kemičnega naparjevanja kovinskih organskih spojin (MOCVD) v kombinaciji z odpornostjo na visoke temperature in toplotno prevodnostjo prevleke TaC običajno uporablja grelec prevleke TaC za ogrevanje reakcijskega plina in z enakomerno porazdelitvijo toplote spodbuja njegova kemična reakcija na površini substrata, s čimer se izboljša enakomernost epitaksialne plasti in tvori visokokakovosten film.

VeTek Semiconducto kot vodilni v industriji izdelkov za grelnike premazov TaC vedno podpira storitve prilagajanja izdelkov in zadovoljive cene izdelkov. Ne glede na vaše posebne zahteve, bomo poiskali najboljšo rešitev za vaše potrebe po grelniku premaza TaC in se veselimo vašega posveta kadar koli.

Osnovne fizikalne lastnosti TaC Coating Heater:

Fizikalne lastnosti TaC prevleke
Gostota	14,3 (g/cm³)
Specifična emisijska sposobnost	0.3
Koeficient toplotnega raztezanja	6.3 10-6/K
Trdota (HK)	2000 HK
Odpornost	1×10-5 Ohm*cm
Toplotna stabilnost	<2500 ℃
Spremembe velikosti grafita	-10~-20um
Debelina nanosa	Tipična vrednost ≥20um (35um±10um)