Podporna plošča za podstavek s premazom TaC

VeTek Semiconductor je proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem, ki z dolgoletnimi izkušnjami v glavnem proizvaja suceptorje za prevleko CVD TaC, vhodni obroč, rezino rezino, držalo s prevleko iz TaC, nosilno ploščo za podstavek s prevleko TaC. Upam, da bomo zgradili poslovni odnos z vami.

TaC keramika ima tališče do 3880 ℃, visoko trdoto (Mohsova trdota 9 ~ 10), visoko toplotno prevodnost (22 W·m-1·K−1), veliko upogibno trdnost (340 ~ 400 MPa) in majhno toplotno razteznost koeficient (6,6 × 10−6K−1) in kažejo odlično termokemijsko stabilnost ter odlične fizikalne lastnosti. Ima dobro kemično in mehansko združljivost z grafitom in kompozitnimi materiali C/C, zato se prevleka TaC pogosto uporablja v toplotni zaščiti v vesolju, rasti monokristalov in epitaksialnih reaktorjih, kot je Aixtron, reaktor LPE EPI v industriji polprevodnikov. Grafit, prevlečen s TaC, ima boljšo odpornost proti kemični koroziji kot golo črnilo ali grafit, prevlečen s SiC, lahko se stabilno uporablja pri visoki temperaturi 2200 °, ne reagira s številnimi kovinskimi elementi, je tretja generacija prizorišča rasti polprevodniških monokristalov, epitaksije in jedkanja rezin. prevleke z najboljšo zmogljivostjo, lahko znatno izboljša postopek nadzora temperature in nečistoč, pripravo visokokakovostnih rezin iz silicijevega karbida in povezanih epitaksialnih rezin. Posebej je primeren za gojenje monokristala GaN ali AlN v opremi MOCVD in monokristala SiC v opremi PVT, kakovost gojenega monokristala pa je očitno izboljšana.

Prevleka TaC in prevleka SiC Rezervni deli, ki jih lahko naredimo:

Parameter prevleke TaC:

Industrijska veriga:

Proizvodna trgovina