TaC premazna plošča

VeTek Semiconductor TaC Coating Plate je izjemen izdelek, ki ponuja izjemne funkcije in prednosti. Natančno oblikovana in izdelana do popolnosti je naša prevlečna plošča TaC posebej prilagojena za različne aplikacije v procesih rasti monokristalov silicijevega karbida (SiC). Natančne mere in robustna konstrukcija prevlečne plošče TaC olajšajo integracijo v obstoječe sisteme, kar zagotavlja brezhibno združljivost in učinkovito delovanje. Njegovo zanesljivo delovanje in visokokakovostna prevleka prispevata k doslednim in enotnim rezultatom pri aplikacijah za rast kristalov SiC. Zavezani smo zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah in se veselimo, da bomo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Lahko ste prepričani, da kupite ploščo za prevleko TaC v naši tovarni. Naša plošča za prevleko TaC deluje kot ključni del polprevodniškega epitaksičnega reaktorja, kar pomaga pri odličnem izkoristku epitaksialne plasti in učinkovitosti rasti. Izboljšajte kakovost izdelkov.

Za proizvodnjo novih polprevodnikov z ostrejšimi in ostrejšimi pripravljalnimi okolji, kot je priprava tretje glavne skupine nitridnih epitaksialnih listov (GaN) s kovinsko-organskim kemičnim naparjevanjem (MOCVD) in priprava SiC epitaksialnih rastnih filmov s kemičnimi hlapi odlaganje (CVD) erodirajo plini, kot sta H2 in NH3 v okoljih z visoko temperaturo. Zaščitni plasti SiC in BN na površini obstoječih rastnih nosilcev ali plinskih kanalov lahko odpovejo zaradi vpletenosti v kemične reakcije, kar negativno vpliva na kakovost izdelkov, kot so kristali in polprevodniki. Zato je treba najti material z boljšo kemično stabilnostjo in odpornostjo proti koroziji kot zaščitni sloj za izboljšanje kakovosti kristalov, polprevodnikov in drugih izdelkov. Tantalov karbid ima odlične fizikalne in kemijske lastnosti, zaradi vloge močnih kemičnih vezi, njegova visoka temperaturna kemična stabilnost in odpornost proti koroziji je veliko višja od SiC, BN itd. .

VeTek Semiconductor ima napredno proizvodno opremo in popoln sistem vodenja kakovosti, strog nadzor nad procesom za zagotavljanje konsistentnosti delovanja prevleke TaC v serijah, podjetje ima obsežne proizvodne zmogljivosti, da zadovolji potrebe kupcev v velikih količinah dobave, popolno spremljanje kakovosti mehanizem za zagotavljanje stabilne in zanesljive kakovosti vsakega izdelka.

Parameter izdelka TaC premazne plošče:

Fizikalne lastnosti TaC prevleke
Gostota	14,3 (g/cm³)
Specifična emisijska sposobnost	0.3
Koeficient toplotnega raztezanja	6.3 10-6/K
Trdota (HK)	2000 HK
Odpornost	1×10-5 Ohm*cm
Toplotna stabilnost	<2500 ℃
Spremembe velikosti grafita	-10~-20um
Debelina nanosa	Tipična vrednost ≥20um (35um±10um)