Rotacijska plošča s premazom TaC

Vrtljiva plošča s prevleko TaC podjetja VeTek Semiconductor ima sestavo visoke čistosti, vsebnost nečistoč manj kot 5 ppm ter gosto in enotno strukturo, ki se pogosto uporablja v sistemih LPE EPI, sistemih Aixtron, sistemih Nuflare, sistemih TEL CVD, sistemih VEECO, TSI sistemi.

Odlične mehanske lastnosti:

Trdota nanosa do 2300HV, z odlično odpornostjo proti obrabi.

Oprijem med premazom in podlago je močan, zato ga ni enostavno odpasti ali odluščiti.

Premaz lahko še vedno ohranja dobro strukturno stabilnost pri visoki temperaturi.

Odlična odpornost proti koroziji:

Sam material TaC ima odlično kemično stabilnost in odpornost proti koroziji.

Polprevodniški premazi VeTek se dobro obnesejo v različnih okoljih z agresivnimi plini.

Lahko učinkovito zaščiti notranje komponente opreme pred poškodbami zaradi korozije.

Visoka površinska obdelava:

Polprevodnik VeTek uporablja natančen postopek premazovanja za izdelavo želenega zaključka.

Nizka površinska hrapavost pomaga zmanjšati kopičenje in odlaganje delcev.

Konzistenca premaza je dobra:

VeTek Semiconductorima sistem za nadzor kakovosti zvoka, ki zagotavlja dosledno delovanje med serijami.

Debelina nanosa je enakomerno porazdeljena in ni očitnih lokalnih napak.

Odlična praktična zmogljivost uporabe:

Prevleka TaC polprevodnika VeTek se pogosto uporablja pri številnih znanih proizvajalcih epitaksialne opreme doma in v tujini.

Fizični parameter izdelka rotacijske plošče, prevlečene s TaC: