TaC Coating Rotation Susceptor

VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor je ključna komponenta za ravnanje z rezinami pri obdelavi polprevodnikov. NjegovoTaC Conašima odlično visokotemperaturno toleranco (tališče do 3880°C), kemično stabilnost in odpornost proti koroziji, ki zagotavljajo visoko natančnost in kakovost pri obdelavi rezin.

TaC Coating Rotation Susceptor (tantalov ogljikov prevlečni rotacijski susceptor) je ključna komponenta opreme, ki se uporablja pri obdelavi polprevodnikov. Običajno je nameščen vkemično naparjevanje (CVD)in opremo za epitaksijo z molekularnim snopom (MBE) za podporo in vrtenje rezin, da se zagotovi enotno nanašanje materiala in učinkovita reakcija. Ta vrsta izdelka bistveno izboljša življenjsko dobo in delovanje opreme v visokotemperaturnih in korozivnih okoljih s premazom podlage zprevleko iz tantalovega ogljika (TaC)..

Rotacijski susceptor prevleke TaC je običajno sestavljen iz prevleke TaC in grafita ali silicijevega karbida kot substratnega materiala. TaC je ultravisokotemperaturni keramični material z izjemno visokim tališčem (tališče do 3880°C), trdoto (trdota po Vickersu je približno 2000 HK) in odlično odpornostjo proti kemični koroziji. VeTek Semiconductor lahko s tehnologijo CVD učinkovito in enakomerno prekrije prevleko iz tantalovega ogljika na materialu substrata.

Rotacijski susceptor je običajno izdelan iz materialov z visoko toplotno prevodnostjo in visoko trdnostjo (grafit ozsilicijev karbid), ki lahko zagotovi dobro mehansko podporo in toplotno stabilnost v okoljih z visoko temperaturo. Popolna kombinacija obeh določa popolno delovanje TaC Coating Rotation Susceptor pri podpiranju in vrtenju rezin.

TaC Coating Rotation Susceptor podpira in vrti rezino v procesu CVD. Vickersova trdota TaC je približno 2000 HK, kar mu omogoča, da se upira ponavljajočemu se trenju materiala in ima dobro podporno vlogo, s čimer zagotavlja, da je reakcijski plin enakomerno porazdeljen na površino rezine in da je material enakomerno odložen. Hkrati visoka temperaturna toleranca in odpornost proti koroziji TaC premaza omogočata dolgotrajno uporabo pri visokih temperaturah in korozivnih atmosferah, kar učinkovito preprečuje kontaminacijo rezin in nosilca.

Poleg tega je toplotna prevodnost TaC 21 W/m·K, kar ima dober prenos toplote. Zato lahko TaC Coating Rotation Susceptor enakomerno segreje rezino v pogojih visoke temperature in zagotovi enakomernost postopka nanašanja plina z rotacijskim gibanjem, s čimer ohranja konsistenco in visoko kakovostrast rezin.

Prevleka tantalovega karbida (TaC) na mikroskopskem prerezu：

Fizikalne lastnosti TaC prevleke：

Trgovine s prevleko za vrtenje TaC: