Porozni grafit, prevlečen s tantalovim karbidom

VeTek polprevodniški porozni grafit, prevlečen s tantalovim karbidom, je postal kristal silicijevega karbida (SiC) zaradi svoje super visoke temperaturne odpornosti (tališče okoli 3880 °C), odlične toplotne stabilnosti, mehanske trdnosti in kemične inertnosti v visokotemperaturnih okoljih. Nepogrešljiv material v procesu rasti. Zlasti njegova porozna struktura zagotavlja številne tehnične prednosti zaproces rasti kristalov. 

Sledi podrobna analizaPorozni grafit, prevlečen s tantalovim karbidomosrednja vloga:

● Izboljšajte učinkovitost pretoka plina in natančno nadzirajte procesne parametre

Mikroporozna struktura poroznega grafita lahko spodbuja enakomerno porazdelitev reakcijskih plinov (kot sta karbidni plin in dušik), s čimer optimizira atmosfero v reakcijskem območju. S to lastnostjo se lahko učinkovito izognete lokalnemu kopičenju plina ali težavam s turbulenco, zagotovite, da so kristali SiC enakomerno obremenjeni v celotnem procesu rasti, stopnja napak pa se močno zmanjša. Hkrati porozna struktura omogoča tudi natančno prilagajanje gradientov tlaka plina, kar dodatno optimizira stopnje rasti kristalov in izboljša konsistenco izdelka.

●  Zmanjšajte kopičenje toplotne obremenitve in izboljšajte celovitost kristalov

Pri visokotemperaturnih operacijah elastične lastnosti poroznega tantalovega karbida (TaC) znatno ublažijo koncentracije toplotnih obremenitev, ki jih povzročajo temperaturne razlike. Ta sposobnost je še posebej pomembna pri gojenju kristalov SiC, saj zmanjšuje tveganje nastanka termičnih razpok, s čimer se izboljša celovitost kristalne strukture in stabilnost obdelave.

●  Optimizirajte porazdelitev toplote in izboljšajte učinkovitost izrabe energije

Prevleka iz tantalovega karbida ne le daje poroznemu grafitu višjo toplotno prevodnost, ampak lahko njegove porozne značilnosti enakomerno porazdelijo toploto, kar zagotavlja zelo dosledno porazdelitev temperature v reakcijskem območju. To enotno upravljanje toplote je ključni pogoj za proizvodnjo kristalov SiC visoke čistosti. Prav tako lahko bistveno izboljša učinkovitost ogrevanja, zmanjša porabo energije in naredi proizvodni proces bolj ekonomičen in učinkovit.

●  Povečajte odpornost proti koroziji in podaljšajte življenjsko dobo komponent

Plini in stranski produkti v okoljih z visoko temperaturo (kot je parna faza vodika ali silicijevega karbida) lahko povzročijo močno korozijo materialov. Prevleka TaC zagotavlja odlično kemično oviro za porozni grafit, znatno zmanjša stopnjo korozije komponente in s tem podaljša njeno življenjsko dobo. Poleg tega premaz zagotavlja dolgoročno stabilnost porozne strukture, kar zagotavlja, da lastnosti transporta plina niso prizadete.

●  Učinkovito blokira difuzijo nečistoč in zagotavlja kristalno čistost

Neprevlečena grafitna matrika lahko sprosti sledi nečistoč, prevleka TaC pa deluje kot izolacijska pregrada, ki preprečuje difuzijo teh nečistoč v kristal SiC v okolju z visoko temperaturo. Ta zaščitni učinek je ključnega pomena za izboljšanje kristalne čistosti in pomoč pri izpolnjevanju strogih zahtev polprevodniške industrije za visokokakovostne SiC materiale.

VeTek polprevodniški porozni grafit, prevlečen s tantalovim karbidom, znatno izboljša učinkovitost postopka in kakovost kristalov z optimizacijo pretoka plina, zmanjšanjem toplotne obremenitve, izboljšanjem toplotne enakomernosti, izboljšanjem odpornosti proti koroziji in zaviranjem difuzije nečistoč med procesom rasti kristalov SiC. Uporaba tega materiala ne zagotavlja samo visoke natančnosti in čistosti v proizvodnji, ampak tudi močno zmanjša obratovalne stroške, zaradi česar je pomemben steber v sodobni proizvodnji polprevodnikov.

Še pomembneje je, da je VeTeksemi že dolgo zavezan zagotavljanju napredne tehnologije in proizvodnih rešitev za industrijo proizvodnje polprevodnikov in podpira prilagojene storitve izdelkov s poroznim grafitom, prevlečenim s tantalovim karbidom. Iskreno se veselimo, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Fizikalne lastnosti prevleke iz tantalovega karbida

VeTek proizvodne delavnice s poroznim grafitom, prevlečenim s tantalovim karbidom