Kaj je TaC premaz?

Prevleka TaC (Prevleka iz tantalovega karbida) je visoko zmogljiv premazni material, izdelan s postopkom kemičnega naparjevanja (CVD). Zaradi odličnih lastnosti TaC prevleke v ekstremnih pogojih se pogosto uporablja v procesu proizvodnje polprevodnikov, zlasti v opremi in komponentah, ki zahtevajo visoko temperaturo in močno korozivno okolje. Prevleka TaC se običajno uporablja za zaščito substratov (kot je grafit ali keramika) pred poškodbami zaradi visoke temperature, korozivnih plinov in mehanske obrabe.

Lastnosti in prednosti izdelka

Izjemno visoka toplotna stabilnost:

Opis značilnosti: prevleka TaC ima tališče nad 3880 °C in lahko ohrani stabilnost brez razgradnje ali deformacije v okolju z izjemno visoko temperaturo.

Advantage: This makes it an indispensable material in high-temperature semiconductor equipment such as CVD TaC Coating and TaC Coated Susceptor, especially for applications in MOCVD reactors, such as Aixtron G5 equipment.

Odlična odpornost proti koroziji:

Opis značilnosti: TaC ima izjemno močno kemično inertnost in se lahko učinkovito upre eroziji korozivnih plinov, kot so kloridi in fluoridi.

Prednosti: V polprevodniških procesih, ki vključujejo zelo jedke kemikalije, prevleka TaC ščiti komponente opreme pred kemičnimi napadi, podaljšuje življenjsko dobo in izboljšuje stabilnost procesa, zlasti pri uporabi silicijevega karbidnega čolna in drugih ključnih komponent.

Odlična mehanska trdnost:

Opis lastnosti: Trdota TaC prevleke je kar 9-10 Mohs, zaradi česar je odporna na mehansko obrabo in visoke temperaturne obremenitve.

Prednost: Zaradi visoke trdote je prevleka TaC posebej primerna za uporabo v okoljih z visoko obrabo in visokim stresom, kar zagotavlja dolgoročno stabilnost in zanesljivost opreme v težkih pogojih.

Nizka kemična reaktivnost:

Opis lastnosti: TaC Coating lahko zaradi svoje kemične inertnosti ohrani nizko reaktivnost v okoljih z visoko temperaturo in se izogne ​​nepotrebnim kemičnim reakcijam z reaktivnimi plini.

Prednost: To je še posebej pomembno v procesu izdelave polprevodnikov, ker zagotavlja čistost procesnega okolja in kakovostno nanašanje materialov.

Vloga TaC prevleke pri obdelavi polprevodnikov

Zaščita ključnih komponent opreme:

Opis funkcije: TaC prevleka se pogosto uporablja v ključnih komponentah opreme za proizvodnjo polprevodnikov, kot je TaC Coated Susceptor, ki morajo delovati v ekstremnih pogojih. S prevleko iz TaC lahko te komponente dolgo časa delujejo v okoljih z visoko temperaturo in korozivnim plinom, ne da bi se poškodovale.

Podaljšajte življenjsko dobo opreme:

Opis funkcije: V opremi MOCVD, kot je Aixtron G5, lahko prevleka TaC bistveno izboljša vzdržljivost komponent opreme in zmanjša potrebo po vzdrževanju in zamenjavi opreme zaradi korozije in obrabe.

Povečajte stabilnost procesa:

Opis funkcije: Pri proizvodnji polprevodnikov prevleka TaC zagotavlja enakomernost in doslednost postopka nanašanja z zagotavljanjem stabilnega visoke temperature in kemičnega okolja. To je še posebej pomembno pri postopkih epitaksialne rasti, kot sta silicijeva epitaksija in galijev nitrid (GaN).

Izboljšajte učinkovitost postopka:

Opis funkcije: Z optimizacijo prevleke na površini opreme lahko TaC Coating izboljša splošno učinkovitost postopka, zmanjša stopnjo napak in poveča izkoristek izdelka. To je ključnega pomena za proizvodnjo visoko natančnih polprevodniških materialov visoke čistosti.

Zaradi visoke toplotne stabilnosti, odlične odpornosti proti koroziji, mehanske trdote in nizke kemične reaktivnosti, ki jih izkazuje prevleka TaC med obdelavo polprevodnikov, je idealna izbira za zaščito komponent opreme za proizvodnjo polprevodnikov. Ker povpraševanje polprevodniške industrije po visokotemperaturnih, visoko čistih in učinkovitih proizvodnih procesih še naprej narašča, ima TaC Coating široke možnosti uporabe, zlasti v opremi in procesih, ki vključujejo CVD TaC Coating, TaC Coated Susceptor in Aixtron G5.

VeTek semiconductor Technology Co., LTD je vodilni ponudnik naprednih premaznih materialov za industrijo polprevodnikov. naše podjetje se osredotoča na razvoj vrhunskih rešitev za industrijo.

Naša glavna ponudba izdelkov vključuje CVD prevleke iz silicijevega karbida (SiC), prevleke iz tantalovega karbida (TaC), SiC v razsutem stanju, prah SiC in materiale SiC visoke čistosti, grafitni suceptor s prevleko iz SiC, predgrelne obroče, preusmerjevalne obroče s prevleko iz TaC, polmesečne dele itd. ., čistost je pod 5 ppm, lahko izpolnjuje zahteve kupcev.

VeTek semiconductor se osredotoča na razvoj vrhunske tehnologije in rešitev za razvoj izdelkov za industrijo polprevodnikov.Iskreno upamo, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.