Nadomestni del za premaz TaC

VeTek Semiconductor je profesionalni proizvajalec plošče za prevleko TaC in drugih rezervnih delov za prevleko TaC na Kitajskem. Prevleka TaC se trenutno večinoma uporablja v postopkih, kot je rast monokristalov iz silicijevega karbida (metoda PVT), epitaksialni disk (vključno z epitaksijo iz silicijevega karbida, epitaksija LED) itd. V kombinaciji z dobro dolgoročno stabilnostjo prevlečne plošče iz TaC, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate je postala merilo za rezervne dele za TaC Coating. Veselimo se, da boste postali naš dolgoročni partner.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

VeTek SemiconductorTaC premazna ploščaje poseben material, ki se pogosto uporablja vpolprevodnikproizvodni proces. V kombinaciji s svojo visoko trdoto in odpornostjo proti obrabi, odpornostjo na visoke temperature, odpornostjo proti koroziji, nizkim koeficientom trenja in dobro toplotno prevodnostjo ima TaC prevlečna plošča nenadomestljivo vlogo v mnogih členih obdelave polprevodnikov.

Na splošno so aplikacijeTaC prevlečene ploščepri obdelavi polprevodnikov so naslednji:

Substrat za rast CVD/ALD: Plošče, prevlečene s TaC, so zaradi odpornosti na visoke temperature, kemične stabilnosti in nizkega koeficienta trenja idealni substrati za rast CVD/ALD. Lahko zagotovi stabilno rastno okolje, da zagotovi enotnost in gostoto filma.

Plošča za masko za jedkanje: Visoka trdota in odpornost proti koroziji plošč, prevlečenih s TaC, jim omogočata, da prenesejo visokoenergijske postopke, kot je plazemsko jedkanje, kot plošče maske za jedkanje, ki ščitijo spodnji film.

CMP polirna blazinica: Zaradi odpornosti proti obrabi in nizkega koeficienta trenja so plošče, prevlečene s TaC, idealni materiali za polirne blazinice CMP, ki lahko učinkovito odstranijo delce in napake na površini filma.

Visokotemperaturna cev za peč: Visokotemperaturna odpornost in odpornost proti koroziji plošč, prevlečenih s TaC, omogočata njihovo uporabo kot cevi za peč v visokotemperaturnih pečeh za visokotemperaturno žarjenje, difuzijo in druge postopke.

V kombinaciji z lastnostmi izdelkaTaC premazna plošča, ugotavlja, da ima ta izdelek nenadomestljivo ključno vlogo pri izboljšanju delovanja naprave, podaljšanju življenjske dobe opreme in izboljšanju učinkovitosti proizvodnje.

Kot profesionalni proizvajalecGaN na epi akceptorju SiC, Porozni grafitinTaC premazna ploščana Kitajskem VeTek Semiconductor vedno vztraja pri zagotavljanju prilagojenih storitev za izdelke in je zavezan k zagotavljanju industrije z vrhunsko tehnologijo in rešitvami izdelkov. Iskreno se veselimo vašega nadaljnjega posvetovanja.

Tehnični parametri CVD TAC COATING：