Edinstvene karbidne prevleke VeTek Semiconductor zagotavljajo vrhunsko zaščito za grafitne dele v postopku epitaksije SiC za obdelavo zahtevnih polprevodniških in kompozitnih polprevodniških materialov. Rezultat je podaljšana življenjska doba grafitne komponente, ohranitev reakcijske stehiometrije, zaviranje migracije nečistoč v aplikacije za epitaksijo in rast kristalov, kar ima za posledico povečan izkoristek in kakovost.
Naši premazi iz tantalovega karbida (TaC) ščitijo kritične komponente peči in reaktorja pri visokih temperaturah (do 2200 °C) pred vročim amoniakom, vodikom, silicijevimi hlapi in staljenimi kovinami. VeTek Semiconductor ima široko paleto zmožnosti obdelave grafita in merjenja, da izpolni vaše prilagojene zahteve, tako da lahko ponudimo plačljiv premaz ali celotno storitev, z našo ekipo strokovnih inženirjev, ki je pripravljena oblikovati pravo rešitev za vas in vašo specifično aplikacijo. .
Sestavljeni polprevodniški kristali
VeTek Semiconductor lahko zagotovi posebne TaC prevleke za različne komponente in nosilce. Preko VeTek Semiconductor-jevega vodilnega postopka nanašanja premazov v industriji lahko prevleka TaC pridobi visoko čistost, visoko temperaturno stabilnost in visoko kemično odpornost, s čimer izboljša kakovost izdelka kristalnih plasti TaC/GaN) in EPL ter podaljša življenjsko dobo kritičnih komponent reaktorja.
Toplotni izolatorji
Komponente za rast kristalov SiC, GaN in AlN, vključno s lončki, držali za setve, deflektorji in filtri. Industrijski sklopi, vključno z uporovnimi grelnimi elementi, šobami, zaščitnimi obročki in napeljavami za trdo spajkanje, epitaksialnimi reaktorskimi komponentami GaN in SiC, vključno z nosilci rezin, satelitskimi pladnji, glavami za prho, pokrovi in podstavki, komponentami MOCVD.
Nosilec rezin LED (svetleča dioda).
ALD (polprevodniški) sprejemnik
Receptor EPI (postopek epitaksije SiC)
Satelitski susceptor, prevlečen s TaC TaC prevleka in obroč TaC Coating deli Deli Halfmoon s prevleko TaC
SiC | TaC | |
Glavne značilnosti | Ultra visoka čistost, odlična odpornost na plazmo | Odlična stabilnost pri visokih temperaturah (skladnost procesa pri visokih temperaturah) |
Čistost | > 99,9999 % | > 99,9999 % |
Gostota (g/cm3) | 3.21 | 15 |
Trdota (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Upornost [Ωcm] | 0,1-15.000 | <1 |
Toplotna prevodnost (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Koeficient toplotnega raztezanja (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Aplikacija | Polprevodniška oprema Keramična šablona (fokusni obroč, glava za prho, navidezna rezina) | SiC Rast monokristalov, Epi, UV LED deli opreme |
VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem za tantalov karbid TaC Coated Halfmoon, specializirani smo za raziskave in razvoj ter proizvodnjo, lahko dobro nadzorujemo kakovost in ponudimo konkurenčno ceno. Vabimo vas, da obiščete našo tovarno za nadaljnjo razpravo o dolgoročnem sodelovanju.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in inovator obroča s tremi lističi s prevleko iz TaC na Kitajskem. Že vrsto let smo specializirani za prevleke iz TaC in SiC. Naši izdelki so odporni proti koroziji in imajo visoko trdnost. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in inovator vpenjal, prevlečenih s tantalovim karbidom, na Kitajskem. Že vrsto let smo specializirani za prevleko TaC. Naši izdelki imajo visoko čistost in visoko temperaturno odpornost do 2000 ℃. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec pokrovov s prevleko iz tantalovega karbida in inovator na Kitajskem. Že vrsto let smo specializirani za premaze TaC in SiC. Naši izdelki so odporni proti koroziji in imajo visoko trdnost. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in inovator prevleke iz tantalovega karbida na Kitajskem. Osredotočeni smo na zagotavljanje izdelkov iz tantalovega karbida visoke čistosti, odpornih na visoke temperature. Naš pokrov, prevlečen s tantalovim karbidom, ima odlično zmogljivost in zanesljivost ter lahko učinkovito zaščiti materiale v izjemno visokih temperaturah in korozivnih okoljih. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeDeflektorski obroč s prevleko iz TaC podjetja VeTek Semiconductor je visoko specializirana komponenta, zasnovana za procese rasti kristalov SiC. Prevleka TaC zagotavlja odlično odpornost na visoke temperature in kemično inertnost za spopadanje z visokimi temperaturami in korozivnimi okolji med procesom rasti kristalov. To zagotavlja stabilno delovanje in dolgo življenjsko dobo komponente ter zmanjša pogostost zamenjave in izpadov. Zavezani smo zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah in veselimo se, da bomo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanje