Edinstvene karbidne prevleke VeTek Semiconductor zagotavljajo vrhunsko zaščito za grafitne dele v postopku epitaksije SiC za obdelavo zahtevnih polprevodniških in kompozitnih polprevodniških materialov. Rezultat je podaljšana življenjska doba grafitne komponente, ohranitev reakcijske stehiometrije, zaviranje migracije nečistoč v aplikacije za epitaksijo in rast kristalov, kar ima za posledico povečan izkoristek in kakovost.
Naši premazi iz tantalovega karbida (TaC) ščitijo kritične komponente peči in reaktorja pri visokih temperaturah (do 2200 °C) pred vročim amoniakom, vodikom, silicijevimi hlapi in staljenimi kovinami. VeTek Semiconductor ima široko paleto zmožnosti obdelave grafita in merjenja, da izpolni vaše prilagojene zahteve, tako da lahko ponudimo plačljiv premaz ali celotno storitev, z našo ekipo strokovnih inženirjev, ki je pripravljena oblikovati pravo rešitev za vas in vašo specifično aplikacijo. .
Sestavljeni polprevodniški kristali
VeTek Semiconductor lahko zagotovi posebne TaC prevleke za različne komponente in nosilce. Preko VeTek Semiconductor-jevega vodilnega postopka nanašanja premazov v industriji lahko prevleka TaC pridobi visoko čistost, visoko temperaturno stabilnost in visoko kemično odpornost, s čimer izboljša kakovost izdelka kristalnih plasti TaC/GaN) in EPL ter podaljša življenjsko dobo kritičnih komponent reaktorja.
Toplotni izolatorji
Komponente za rast kristalov SiC, GaN in AlN, vključno s lončki, držali za setve, deflektorji in filtri. Industrijski sklopi, vključno z uporovnimi grelnimi elementi, šobami, zaščitnimi obročki in napeljavami za trdo spajkanje, epitaksialnimi reaktorskimi komponentami GaN in SiC, vključno z nosilci rezin, satelitskimi pladnji, glavami za prho, pokrovi in podstavki, komponentami MOCVD.
Nosilec rezin LED (svetleča dioda).
ALD (polprevodniški) sprejemnik
Receptor EPI (postopek epitaksije SiC)
Satelitski susceptor, prevlečen s TaC TaC prevleka in obroč TaC Coating deli Deli Halfmoon s prevleko TaC
SiC | TaC | |
Glavne značilnosti | Ultra visoka čistost, odlična odpornost na plazmo | Odlična stabilnost pri visokih temperaturah (skladnost procesa pri visokih temperaturah) |
Čistost | > 99,9999 % | > 99,9999 % |
Gostota (g/cm3) | 3.21 | 15 |
Trdota (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Upornost [Ωcm] | 0,1-15.000 | <1 |
Toplotna prevodnost (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Koeficient toplotnega raztezanja (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Aplikacija | Polprevodniška oprema Keramična šablona (fokusni obroč, glava za prho, navidezna rezina) | SiC Rast monokristalov, Epi, UV LED deli opreme |
VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in inovator TaC Coating Heater na Kitajskem. Ta izdelek ima izjemno visoko tališče (približno 3880 °C). Visoko tališče TaC Coating Heater omogoča, da deluje pri izjemno visokih temperaturah, zlasti pri rasti epitaksialnih plasti galijevega nitrida (GaN) v postopku kemičnega naparjevanja kovin (MOCVD). VeTek Semiconductor je zavezan zagotavljanju napredne tehnologije in proizvodnih rešitev za industrijo polprevodnikov. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor kot profesionalni proizvajalec in dobavitelj vpenjal s prevleko iz TaC na Kitajskem je zasnovana posebej za polprevodniške peči. S svojo odpornostjo na visoke temperature, kemično inertnostjo in odlično zmogljivostjo inovativna tehnologija Vetek Semiconductor zagotavlja zanesljivo rešitev za industrijo proizvodnje polprevodnikov za zagotavljanje proizvodnih standardov visoke kakovosti. Verjamemo, da vam naši izdelki lahko prinesejo napredno tehnologijo in visokokakovostne rešitve izdelkov.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor kot profesionalni proizvajalec in dobavitelj cevi s prevleko iz TaC na Kitajskem je ključna komponenta za uspešno rast monokristalov silicijevega karbida. S svojo odpornostjo na visoke temperature, kemično inertnostjo in odlično zmogljivostjo zagotavlja proizvodnjo visokokakovostnih kristalov z doslednimi rezultati. Zaupajte našim inovativnim rešitvam za izboljšanje procesa rasti kristalov SiC po metodi PVT in doseganje odličnih rezultatov. Dobrodošli, da nas povprašate.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec, inovator in vodja CVD TAC Coating na Kitajskem. Že vrsto let se osredotočamo na različne izdelke za prevleke CVD TAC, kot so pokrov za prevleko CVD TaC, obroč za prevleko CVD TaC, nosilec prevleke CVD TaC itd. VeTek Semiconductor podpira prilagojene storitve izdelkov in zadovoljive cene izdelkov ter se veseli vašega nadaljnjega posvetovanje.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je profesionalni proizvajalec plošče za prevleko TaC in drugih rezervnih delov za prevleko TaC na Kitajskem. Prevleka TaC se trenutno večinoma uporablja v postopkih, kot je rast monokristalov iz silicijevega karbida (metoda PVT), epitaksialni disk (vključno z epitaksijo iz silicijevega karbida, epitaksija LED) itd. V kombinaciji z dobro dolgoročno stabilnostjo prevlečne plošče iz TaC, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate je postala merilo za rezervne dele za TaC Coating. Veselimo se, da boste postali naš dolgoročni partner.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je profesionalni proizvajalec episuceptorja GaN na SiC, CVD SiC prevleke in grafitnega susceptorja CVD TAC COATING na Kitajskem. Med njimi ima episceptor GaN na SiC ključno vlogo pri obdelavi polprevodnikov. S svojo odlično toplotno prevodnostjo, sposobnostjo obdelave pri visokih temperaturah in kemično stabilnostjo zagotavlja visoko učinkovitost in kakovost materiala postopka epitaksialne rasti GaN. Iskreno se veselimo vašega nadaljnjega posvetovanja.
Preberi večPošlji povpraševanje