Kitajska Postopek epitaksije SiC Proizvajalec, dobavitelj, tovarna

Edinstvene karbidne prevleke VeTek Semiconductor zagotavljajo vrhunsko zaščito za grafitne dele v postopku epitaksije SiC za obdelavo zahtevnih polprevodniških in kompozitnih polprevodniških materialov. Rezultat je podaljšana življenjska doba grafitne komponente, ohranitev reakcijske stehiometrije, zaviranje migracije nečistoč v aplikacije za epitaksijo in rast kristalov, kar ima za posledico povečan izkoristek in kakovost.

Naši premazi iz tantalovega karbida (TaC) ščitijo kritične komponente peči in reaktorja pri visokih temperaturah (do 2200 °C) pred vročim amoniakom, vodikom, silicijevimi hlapi in staljenimi kovinami. VeTek Semiconductor ima široko paleto zmožnosti obdelave grafita in merjenja, da izpolni vaše prilagojene zahteve, tako da lahko ponudimo plačljiv premaz ali celotno storitev, z našo ekipo strokovnih inženirjev, ki je pripravljena oblikovati pravo rešitev za vas in vašo specifično aplikacijo. .

Sestavljeni polprevodniški kristali

VeTek Semiconductor lahko zagotovi posebne TaC prevleke za različne komponente in nosilce. Preko VeTek Semiconductor-jevega vodilnega postopka nanašanja premazov v industriji lahko prevleka TaC pridobi visoko čistost, visoko temperaturno stabilnost in visoko kemično odpornost, s čimer izboljša kakovost izdelka kristalnih plasti TaC/GaN) in EPL ter podaljša življenjsko dobo kritičnih komponent reaktorja.

Toplotni izolatorji

Komponente za rast kristalov SiC, GaN in AlN, vključno s lončki, držali za setve, deflektorji in filtri. Industrijski sklopi, vključno z uporovnimi grelnimi elementi, šobami, zaščitnimi obročki in napeljavami za trdo spajkanje, epitaksialnimi reaktorskimi komponentami GaN in SiC, vključno z nosilci rezin, satelitskimi pladnji, glavami za prho, pokrovi in podstavki, komponentami MOCVD.

Namen:

Nosilec rezin LED (svetleča dioda).

ALD (polprevodniški) sprejemnik

Receptor EPI (postopek epitaksije SiC)

Satelitski susceptor, prevlečen s TaC TaC prevleka in obroč TaC Coating deli Deli Halfmoon s prevleko TaC

Primerjava prevleke SiC in prevleke TaC:

	SiC	TaC
Glavne značilnosti	Ultra visoka čistost, odlična odpornost na plazmo	Odlična stabilnost pri visokih temperaturah (skladnost procesa pri visokih temperaturah)
Čistost	> 99,9999 %	> 99,9999 %
Gostota (g/cm3)	3.21	15
Trdota (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Upornost [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Toplotna prevodnost (W/m-K)	200-360	22
Koeficient toplotnega raztezanja (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Aplikacija	Polprevodniška oprema Keramična šablona (fokusni obroč, glava za prho, navidezna rezina)	SiC Rast monokristalov, Epi, UV LED deli opreme

View as

CVD TaC nosilec prevleke

VeTek Semiconductor's CVD TaC Coating nosilec je zasnovan predvsem za epitaksialni postopek proizvodnje polprevodnikov. Izjemno visoko tališče nosilca CVD TaC Coating, odlična odpornost proti koroziji in izjemna toplotna stabilnost določajo nepogrešljivost tega izdelka v polprevodniškem epitaksialnem procesu. Iskreno upamo, da bomo z vami zgradili dolgoročno poslovno razmerje.

Preberi več Pošlji povpraševanje

Vodilni obroč za premaz TaC

VeTek Semiconductor's TaC Coating Guide Ring je ustvarjen z nanašanjem prevleke iz tantalovega karbida na grafitne dele z zelo napredno tehniko, imenovano kemično naparjevanje (CVD). Ta metoda je dobro uveljavljena in ponuja izjemne lastnosti premaza. Z uporabo vodilnega obroča za prevleko TaC je mogoče bistveno podaljšati življenjsko dobo grafitnih komponent, preprečiti gibanje grafitnih nečistoč in zanesljivo ohraniti kakovost monokristalov SiC in AIN. Dobrodošli, da nas povprašate.

Preberi več Pošlji povpraševanje

TaC prevlečen grafitni susceptor

VeTek Semiconductor's TaC Coated Graphite Susceptor uporablja metodo kemičnega naparjevanja (CVD) za pripravo prevleke iz tantalovega karbida na površini grafitnih delov. Ta postopek je najbolj zrel in ima najboljše premazne lastnosti. TaC Coated Graphite Susceptor lahko podaljša življenjsko dobo grafitnih komponent, zavira migracijo grafitnih nečistoč in zagotovi kakovost epitaksije. VeTek Semiconductor se veseli vašega povpraševanja.

Preberi več Pošlji povpraševanje

TaC Coating Susceptor

VeTek Semiconductor predstavlja TaC Coating Susceptor. S svojo izjemno TaC prevleko ta suceptor ponuja številne prednosti, ki ga ločujejo od običajnih rešitev. TaC Coating Susceptor brezhibno integrira v obstoječe sisteme in zagotavlja združljivost in učinkovito delovanje. Njegovo zanesljivo delovanje in visokokakovostna prevleka TaC dosledno zagotavljata izjemne rezultate v postopkih epitaksije SiC. Zavezani smo zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah in se veselimo, da bomo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Preberi več Pošlji povpraševanje

Rotacijska plošča s premazom TaC

VeTek Semiconductor's TaC Coating Rotation Plate se ponaša z izjemno TaC prevleko. S svojo izjemno TaC prevleko se TaC Coating Rotation Plate ponaša z izjemno odpornostjo na visoke temperature in kemično inertnostjo, kar jo ločuje od tradicionalnih rešitev. Zavezani smo zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah. cene in se veselimo, da bomo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Preberi več Pošlji povpraševanje

TaC premazna plošča

VeTek Semiconductor TaC Coating Plate je izjemen izdelek, ki ponuja izjemne funkcije in prednosti. Natančno oblikovana in izdelana do popolnosti je naša prevlečna plošča TaC posebej prilagojena za različne aplikacije v procesih rasti monokristalov silicijevega karbida (SiC). Natančne mere in robustna konstrukcija prevlečne plošče TaC olajšajo integracijo v obstoječe sisteme, kar zagotavlja brezhibno združljivost in učinkovito delovanje. Njegovo zanesljivo delovanje in visokokakovostna prevleka prispevata k doslednim in enotnim rezultatom pri aplikacijah za rast kristalov SiC. Zavezani smo zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah in se veselimo, da bomo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Preberi več Pošlji povpraševanje

<...2 3 4 5 6...7 >

Kot profesionalni Postopek epitaksije SiC proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem imamo lastno tovarno. Ne glede na to, ali potrebujete prilagojene storitve za izpolnjevanje posebnih potreb vaše regije ali želite kupiti napredno in vzdržljivo Postopek epitaksije SiC, izdelano na Kitajskem, nam lahko pustite sporočilo.