grelec s keramično prevleko iz silicijevega karbida

VeTek SemiconductorGrelec s keramično prevleko iz silicijevega karbida je grelec, zasnovan za visoke temperature in težka okolja. Površino grelnega elementa prevleče s plastjo silicijevega ogljikovega keramičnega premaza (SiC), ki daje opremi odlično toplotno odpornost, odpornost proti koroziji in toplotno prevodnost. 

Grelec s keramično prevleko iz silicijevega karbidase uporablja predvsem v opremi za vakuumsko nanašanje (uparjanje). Običajno uporabljeni metodi sta PCD (plazemsko kemijsko sušenje) in PVD (fizično naparjevanje), ki se pogosto uporabljata v proizvodnji polprevodnikov in drugih zahtevnih industrijskih aplikacijah.

V kombinaciji z visoko zmogljivim premazom grelnika za keramično prevleko iz silicijevega karbida,lahko zagotovi odlično rešitev ogrevanja za visokotemperaturne procese.

Odlična toplotna prevodnost: SiC material ima odlično toplotno prevodnost, kar zagotavlja, da lahko grelec doseže enakomerno porazdelitev toplote v delovnem območju in zmanjša temperaturne gradiente.

Zagotovite enakomerno porazdelitev toplote: Grelnik s keramično prevleko iz silicijevega karbida uporablja visoko toplotno prevodnost materiala SiC za doseganje enakomerne porazdelitve temperature po celotnem ogrevalnem območju. To je ključnega pomena za zagotovitev enakomerne toplotne obdelave polprevodniških rezin v različnih visokotemperaturnih procesih, kot so hitra termična obdelava (RTP), difuzija in oksidacija, pri čemer se izognemo okvaram izdelka, ki jih povzroči lokalno pregrevanje ali neenakomerna temperatura.

Toleranca na visoke temperature: Prevleka SiC omogoča grelniku, da prenese izjemno visoke temperature, običajno do 1600°C, kar je primerno za različne visokotemperaturne procese obdelave.

Izboljšajte toplotno odpornost: Ker lahko premaz prenese izjemno visoke temperature, se dobro obnese v procesih, ki zahtevajo dolgotrajno delovanje pri visokih temperaturah. Na primer, pri postopkih kemičnega naparjevanja (CVD) lahko grelec za keramično prevleko iz silicijevega karbida zagotovi dolgoročno stabilno delovanje opreme pri visokih temperaturah in ohrani dosledno zmogljivost ogrevanja, s čimer izboljša ponovljivost in zanesljivost postopka.

Odpornost na kemično korozijo: Prevleka SiC ima izjemno visoko odpornost na kisline, alkalije in korozivne pline in lahko ostane dolgo časa stabilna v kompleksnem okolju kemične atmosfere, kar podaljša življenjsko dobo opreme. 

Podaljšanje življenjske dobe opreme: Prevleka SiC ima odlično odpornost proti oksidaciji in koroziji ter se lahko učinkovito upre kemični eroziji in oksidaciji pri visokih temperaturah. To je zelo kritično v procesu izdelave polprevodnikov, zlasti v okolju, ki deluje z jedkimi plini in kemikalijami. Zaščitni učinek prevleke lahko bistveno podaljša življenjsko dobo grelnika in zmanjša pogostost zamenjave opreme in stroške vzdrževanja.

Osnovne fizikalne lastnosti grelnika s keramično prevleko iz silicijevega karbida:

VeTek Semiconductor prodajalne grelnikov s keramično prevleko iz silicijevega karbida:

Pregled industrijske verige epitaksije polprevodniških čipov VeTek: