Keramična prevleka iz silicijevega karbida

Vetek Semiconductor Keramična prevleka iz silicijevega karbidaje visoko zmogljiva zaščitna prevleka iz izjemno trdega in na obrabo odpornega materiala silicijev karbid (SiC), ki zagotavlja odlično odpornost proti kemični koroziji in visoko temperaturno stabilnost. Te lastnosti so ključne pri proizvodnji polprevodnikov, zato se keramična prevleka iz silicijevega karbida pogosto uporablja na ključnih komponentah opreme za proizvodnjo polprevodnikov.

Posebna vloga Vetek Semiconductor Silicon Carbide Ceramic Coating pri proizvodnji polprevodnikov jekot sledi:

Povečajte vzdržljivost opreme: Keramična prevleka iz silicijevega karbida zagotavlja odlično površinsko zaščito opreme za proizvodnjo polprevodnikov s svojo izjemno visoko trdoto in odpornostjo proti obrabi. Zlasti v visokotemperaturnih, zelo korozivnih procesnih okoljih, kot sta kemično naparjevanje (CVD) in plazemsko jedkanje, lahko keramična prevleka iz silicijevega karbida učinkovito prepreči poškodbe površine opreme zaradi kemične erozije ali fizične obrabe, s čimer znatno podaljša življenjsko dobo opremo in zmanjšanje izpadov zaradi pogoste zamenjave in vzdrževanja.

Izboljšajte čistost postopka: V procesu izdelave polprevodnikov lahko vsaka najmanjša kontaminacija povzroči okvare izdelka. Kemična inertnost keramične prevleke iz silicijevega karbida omogoča, da ostane stabilna v ekstremnih pogojih, preprečuje, da bi material sproščal delce ali nečistoče, in zagotavlja čistost okolja med postopkom. To je še posebej pomembno za korake izdelave, ki zahtevajo visoko natančnost in visoko čistočo, kot sta PECVD in ionska implantacija.

Optimizirajte toplotno upravljanje: Pri visokotemperaturni obdelavi polprevodnikov, kot so hitra termična obdelava (RTP) in oksidacijski postopki, visoka toplotna prevodnost keramične prevleke iz silicijevega karbida omogoča enakomerno porazdelitev temperature znotraj opreme. To pomaga zmanjšati toplotno obremenitev in deformacijo materiala, ki jo povzročajo temperaturna nihanja, s čimer se izboljša natančnost in doslednost izdelave izdelka.

Podpira kompleksno procesno okolje: V procesih, ki zahtevajo kompleksno kontrolo atmosfere, kot so postopki jedkanja ICP in jedkanja PSS, stabilnost in oksidacijska odpornost grelnika s keramično prevleko iz silicijevega karbida zagotavljata stabilno delovanje opreme pri dolgotrajnem delovanju, kar zmanjšuje tveganje degradacije materiala ali opreme škodo zaradi okoljskih sprememb.

Vetek Semiconductorse osredotoča na proizvodnjo in dobavo visoko zmogljivihKeramična prevleka iz silicijevega karbida, in je zavezan zagotavljanju napredne tehnologije in proizvodnih rešitev za industrijo polprevodnikov.Iskreno upamo, da bomo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Osnovne fizikalne lastnostiKeramična prevleka iz silicijevega karbida:

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Ceramic Coating trgovine:

Pregled verige industrije epitaksije polprevodniških čipov: