> Izdelki > Prevleka iz silicijevega karbida

Izdelki

novi izdelki

Kitajska Prevleka iz silicijevega karbida Proizvajalec, dobavitelj, tovarna

VeTek Semiconductor je specializiran za proizvodnjo izdelkov iz ultra čistega silicijevega karbida, ti premazi so zasnovani za nanašanje na prečiščen grafit, keramiko in ognjevzdržne kovinske komponente.

Naši premazi visoke čistosti so namenjeni predvsem uporabi v polprevodniški in elektronski industriji. Služijo kot zaščitna plast za nosilce rezin, suceptorje in grelne elemente ter jih ščitijo pred jedkimi in reaktivnimi okolji, do katerih pride v procesih, kot sta MOCVD in EPI. Ti procesi so sestavni del obdelave rezin in izdelave naprav. Poleg tega so naši premazi zelo primerni za uporabo v vakuumskih pečeh in segrevanje vzorcev, kjer se srečujemo z visokim vakuumom, reaktivnim okoljem in okoljem s kisikom.

Pri VeTek Semiconductor ponujamo celovito rešitev z našimi naprednimi zmogljivostmi strojne delavnice. To nam omogoča izdelavo osnovnih komponent z uporabo grafita, keramike ali ognjevzdržnih kovin in lastno nanašanje keramičnih prevlek SiC ali TaC. Nudimo tudi storitve premazovanja delov, ki jih dobavljajo stranke, s čimer zagotavljamo prilagodljivost za izpolnjevanje različnih potreb.

Naši izdelki s premazom iz silicijevega karbida se pogosto uporabljajo v Si epitaksiji, SiC epitaksiji, sistemu MOCVD, procesu RTP/RTA, postopku jedkanja, postopku jedkanja ICP/PSS, procesu različnih vrst LED, vključno z modro in zeleno LED, UV LED in globokim UV LED itd., ki je prilagojen opremi LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI itd.

Deli reaktorja, ki jih lahko naredimo:

Prevleka iz silicijevega karbida ima več edinstvenih prednosti:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parameter prevleke iz silicijevega karbida VeTek Semiconductor

Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiC prevleke
Lastnina	Tipična vrednost
Kristalna struktura	FCC β faza polikristalna, pretežno (111) usmerjena
SiC prevleka Gostota	3,21 g/cm³
SiC prevleka Trdota	2500 Vickers trdota（500g obremenitev）
Velikost zrn	2~10 μm
Kemijska čistost	99,99995 %
Toplotna zmogljivost	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura sublimacije	2700 ℃
Upogibna trdnost	415 MPa RT 4-točkovno
Youngov modul	430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃
Toplotna prevodnost	300 W·m^-1·K^-1
Toplotna ekspanzija (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC FILMA KRISTALNA STRUKTURA

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Epi suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom SiC prevleka za rezine Satelitski pokrov s prevleko iz SiC za MOCVD CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC prevleka Grelni element Satelitski nosilec rezin Aixtron SiC Coating Epi sprejemnik SiC prevleka polmesečevih grafitnih delov

View as

SiC prevlečena podpora za LPE PE2061S

VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in dobavitelj podpore s prevleko iz SiC za LPE PE2061S na Kitajskem. Nosilec s prevleko iz SiC za LPE PE2061S je primeren za silicijev epitaksialni reaktor LPE. Podpora s prevleko iz SiC za LPE PE2061S kot spodnji del osnove cevi lahko prenese visoke temperature 1600 stopinj Celzija, s čimer doseže izjemno dolgo življenjsko dobo izdelka in zmanjša stroške strank. Veselimo se vašega povpraševanja in nadaljnje komunikacije.

Preberi več Pošlji povpraševanje

Vrhnja plošča s prevleko iz SiC za LPE PE2061S

VeTek Semiconductor se že vrsto let intenzivno ukvarja z izdelki za prevleke SiC in je postal vodilni proizvajalec in dobavitelj zgornje plošče s prevleko iz SiC za LPE PE2061S na Kitajskem. Zgornja plošča s prevleko iz SiC za LPE PE2061S, ki jo ponujamo, je zasnovana za silicijeve epitaksialne reaktorje LPE in se nahaja na vrhu skupaj z dnom cevi. Ta vrhnja plošča s prevleko iz SiC za LPE PE2061S ima odlične lastnosti, kot so visoka čistost, odlična toplotna stabilnost in enakomernost, kar pomaga pri rasti visokokakovostnih epitaksialnih plasti. Ne glede na to, kateri izdelek potrebujete, veselimo se vašega povpraševanja.

Preberi več Pošlji povpraševanje

SiC prevlečen sod za LPE PE2061S

VeTek Semiconductor je kot ena izmed vodilnih tovarn za proizvodnjo rezin na Kitajskem nenehno napredovala pri izdelkih na rezinah in je postala prva izbira za številne proizvajalce epitaksialnih rezin. SiC prevlečeni sodčasti susceptor za LPE PE2061S, ki ga zagotavlja VeTek Semiconductor, je zasnovan za 4'' rezine LPE PE2061S. Suceptor ima trpežno prevleko iz silicijevega karbida, ki izboljša zmogljivost in vzdržljivost med postopkom LPE (tekočefazna epitaksija). Pozdravljamo vaše povpraševanje, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner.

Preberi več Pošlji povpraševanje

Solid SiC plinska glava za tuširanje

Solid SiC plinska tuš glava ima pomembno vlogo pri izenačevanju plina v procesu CVD, s čimer zagotavlja enakomerno segrevanje podlage. VeTek Semiconductor je že vrsto let poglobljeno vpleten v področje naprav iz trdnega SiC in je sposoben strankam zagotoviti prilagojene plinske glave za tuširanje iz trdnega SiC. Ne glede na vaše zahteve, veselimo se vašega povpraševanja.

Preberi več Pošlji povpraševanje

Obroč robov iz trdnega SiC postopka kemičnega naparjevanja

VeTek Semiconductor je bil vedno zavezan raziskavam in razvoju ter proizvodnji naprednih polprevodniških materialov. Danes je VeTek Semiconductor dosegel velik napredek pri izdelkih robnih obročev iz trdnega SiC in je sposoben strankam zagotoviti zelo prilagojene robne obroče iz trdnega SiC. Robni obroči iz trdnega SiC zagotavljajo boljšo enakomernost jedkanja in natančno pozicioniranje rezin pri uporabi z elektrostatično vpenjalno glavo, kar zagotavlja dosledne in zanesljive rezultate jedkanja. Veselimo se vašega povpraševanja in postanemo dolgoročni partnerji drug drugega.

Preberi več Pošlji povpraševanje

Fokusni obroč za jedkanje iz trdnega SiC

Obroč za fokusiranje jedkanja iz trdnega SiC je ena od ključnih komponent postopka jedkanja rezin, ki igra vlogo pri fiksiranju rezin, fokusiranju plazme in izboljšanju enotnosti jedkanja rezin. VeTek Semiconductor ima kot vodilni proizvajalec obroča za fokusiranje iz SiC na Kitajskem napredno tehnologijo in zrel postopek ter izdeluje obroč za fokusiranje iz trdnega SiC Etching, ki v celoti izpolnjuje potrebe končnih kupcev v skladu z zahtevami strank. Veselimo se vašega povpraševanja in bomo postali dolgoročni partnerji drug drugega.

Preberi več Pošlji povpraševanje

<...14 15 16 17 18 >

Kot profesionalni Prevleka iz silicijevega karbida proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem imamo lastno tovarno. Ne glede na to, ali potrebujete prilagojene storitve za izpolnjevanje posebnih potreb vaše regije ali želite kupiti napredno in vzdržljivo Prevleka iz silicijevega karbida, izdelano na Kitajskem, nam lahko pustite sporočilo.