VeTek Semiconductor je specializiran za proizvodnjo izdelkov iz ultra čistega silicijevega karbida, ti premazi so zasnovani za nanašanje na prečiščen grafit, keramiko in ognjevzdržne kovinske komponente.
Naši premazi visoke čistosti so namenjeni predvsem uporabi v polprevodniški in elektronski industriji. Služijo kot zaščitna plast za nosilce rezin, suceptorje in grelne elemente ter jih ščitijo pred jedkimi in reaktivnimi okolji, do katerih pride v procesih, kot sta MOCVD in EPI. Ti procesi so sestavni del obdelave rezin in izdelave naprav. Poleg tega so naši premazi zelo primerni za uporabo v vakuumskih pečeh in segrevanje vzorcev, kjer se srečujemo z visokim vakuumom, reaktivnim okoljem in okoljem s kisikom.
Pri VeTek Semiconductor ponujamo celovito rešitev z našimi naprednimi zmogljivostmi strojne delavnice. To nam omogoča izdelavo osnovnih komponent z uporabo grafita, keramike ali ognjevzdržnih kovin in lastno nanašanje keramičnih prevlek SiC ali TaC. Nudimo tudi storitve premazovanja za dele, ki jih dobavljajo stranke, s čimer zagotavljamo prilagodljivost za izpolnjevanje različnih potreb.
Naši izdelki s prevleko iz silicijevega karbida se pogosto uporabljajo v Si epitaksiji, SiC epitaksiji, sistemu MOCVD, procesu RTP/RTA, postopku jedkanja, postopku jedkanja ICP/PSS, procesu različnih vrst LED, vključno z modro in zeleno LED, UV LED in globokim UV LED itd., ki je prilagojen opremi LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI itd.
Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiC prevleke | |
Lastnina | Tipična vrednost |
Kristalna struktura | FCC β faza polikristalna, pretežno (111) usmerjena |
Gostota | 3,21 g/cm³ |
Trdota | 2500 Vickers trdota(500g obremenitev) |
Velikost zrn | 2~10 μm |
Kemijska čistost | 99,99995 % |
Toplotna zmogljivost | 640 J·kg-1·K-1 |
Temperatura sublimacije | 2700 ℃ |
Upogibna trdnost | 415 MPa RT 4-točkovno |
Youngov modul | 430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃ |
Toplotna prevodnost | 300 W·m-1·K-1 |
Toplotna ekspanzija (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec polprevodniške opreme na Kitajskem ter profesionalni proizvajalec in dobavitelj glave za tuširanje v obliki diska iz trdnega SiC. Naša glava za prhanje v obliki diska se pogosto uporablja pri proizvodnji nanašanja tankega filma, kot je postopek CVD, da se zagotovi enakomerna porazdelitev reakcijskega plina, in je ena od ključnih komponent CVD peči.
Preberi večPošlji povpraševanjeCVD SiC prevlečena rezina Nosilec soda je ključni sestavni del epitaksialne rastne peči, ki se pogosto uporablja v MOCVD epitaksialnih rastnih pečeh. VeTek Semiconductor vam nudi zelo prilagojene izdelke. Ne glede na to, kakšne so vaše potrebe po CVD SiC prevlečenem držalu za rezine, dobrodošli, da se posvetujete z nami.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor CVD SiC coating sod susceptor je osrednji sestavni del sodčaste epitaksialne peči. S pomočjo CVD SiC coating barel susceptorja se količina in kakovost epitaksialne rasti močno izboljšata. VeTek Semiconductor je profesionalni proizvajalec in dobavitelj SiC Coated Barrel Susceptor in je na vodilni ravni na Kitajskem in celo v svetu. VeTek Semiconductor se veseli vzpostavitve tesnega sodelovanja z vami v industriji polprevodnikov.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor CVD SiC coating wafer Epi susceptor je nepogrešljiva komponenta za rast SiC epitaksije, ki ponuja vrhunsko toplotno upravljanje, kemično odpornost in dimenzijsko stabilnost. Z izbiro VeTek Semiconductor's CVD SiC coating wafer Epi susceptor, izboljšate zmogljivost vaših MOCVD procesov, kar vodi do višje kakovosti izdelkov in večje učinkovitosti v vaših postopkih proizvodnje polprevodnikov. Pozdravljamo vaša nadaljnja povpraševanja.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor CVD SiC prevleka grafitnega suceptorja je ena od pomembnih komponent v industriji polprevodnikov, kot sta epitaksialna rast in obdelava rezin. Uporablja se v MOCVD in drugi opremi za podporo obdelave in ravnanja z rezinami in drugimi visoko natančnimi materiali. VeTek Semiconductor ima vodilne kitajske zmogljivosti za proizvodnjo in proizvodnjo grafitnih susceptorjev s prevleko iz SiC in TaC prevlečenih grafitnih susceptorjev ter se veseli vašega posveta.
Preberi večPošlji povpraševanjeGrelni element s prevleko CVD SiC ima ključno vlogo pri segrevanju materialov v peči PVD (nanašanje z izparevanjem). VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec grelnih elementov s CVD SiC prevleko na Kitajskem. Imamo napredne zmogljivosti CVD premazov in vam lahko zagotovimo prilagojene izdelke CVD SiC premazov. VeTek Semiconductor se veseli, da bo postal vaš partner pri grelnih elementih, prevlečenih s SiC.
Preberi večPošlji povpraševanje