VeTek Semiconductor je specializiran za proizvodnjo izdelkov iz ultra čistega silicijevega karbida, ti premazi so zasnovani za nanašanje na prečiščen grafit, keramiko in ognjevzdržne kovinske komponente.
Naši premazi visoke čistosti so namenjeni predvsem uporabi v polprevodniški in elektronski industriji. Služijo kot zaščitna plast za nosilce rezin, suceptorje in grelne elemente ter jih ščitijo pred jedkimi in reaktivnimi okolji, do katerih pride v procesih, kot sta MOCVD in EPI. Ti procesi so sestavni del obdelave rezin in izdelave naprav. Poleg tega so naši premazi zelo primerni za uporabo v vakuumskih pečeh in segrevanje vzorcev, kjer se srečujemo z visokim vakuumom, reaktivnim okoljem in okoljem s kisikom.
Pri VeTek Semiconductor ponujamo celovito rešitev z našimi naprednimi zmogljivostmi strojne delavnice. To nam omogoča izdelavo osnovnih komponent z uporabo grafita, keramike ali ognjevzdržnih kovin in lastno nanašanje keramičnih prevlek SiC ali TaC. Nudimo tudi storitve premazovanja za dele, ki jih dobavljajo stranke, s čimer zagotavljamo prilagodljivost za izpolnjevanje različnih potreb.
Naši izdelki s prevleko iz silicijevega karbida se pogosto uporabljajo v Si epitaksiji, SiC epitaksiji, sistemu MOCVD, procesu RTP/RTA, postopku jedkanja, postopku jedkanja ICP/PSS, procesu različnih vrst LED, vključno z modro in zeleno LED, UV LED in globokim UV LED itd., ki je prilagojen opremi LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI itd.
Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiC prevleke | |
Lastnina | Tipična vrednost |
Kristalna struktura | FCC β faza polikristalna, pretežno (111) usmerjena |
Gostota | 3,21 g/cm³ |
Trdota | 2500 Vickers trdota(500g obremenitev) |
Velikost zrn | 2~10 μm |
Kemijska čistost | 99,99995 % |
Toplotna zmogljivost | 640 J·kg-1·K-1 |
Temperatura sublimacije | 2700 ℃ |
Upogibna trdnost | 415 MPa RT 4-točkovno |
Youngov modul | 430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃ |
Toplotna prevodnost | 300 W·m-1·K-1 |
Toplotna ekspanzija (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Kot napredni proizvajalec in tovarna izdelkov SiC Sealing Part na Kitajskem. VeTek Semiconducto SiC tesnilni del je visoko zmogljiva tesnilna komponenta, ki se pogosto uporablja pri obdelavi polprevodnikov in drugih procesih pri ekstremno visokih temperaturah in visokem tlaku. Pozdravljamo vaše nadaljnje posvetovanje.
Preberi večPošlji povpraševanjeKot vodilni proizvajalec in dobavitelj izdelkov iz silicijevega karbida Wafer Chuck na Kitajskem, VeTek Semiconductor's Silicon Carbide Wafer Chuck igra nenadomestljivo vlogo v procesu epitaksialne rasti s svojo odlično odpornostjo na visoke temperature, odpornostjo proti kemični koroziji in odpornostjo na termični šok. Pozdravljamo vaše nadaljnje posvetovanje.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in dobavitelj izdelkov za prho iz silicijevega karbida na Kitajskem. SiC tuš glava ima odlično visoko temperaturno toleranco, kemično stabilnost, toplotno prevodnost in dobro distribucijo plina, kar lahko doseže enakomerno porazdelitev plina in izboljša kakovost filma. Zato se običajno uporablja pri visokotemperaturnih postopkih, kot so postopki kemičnega naparjevanja (CVD) ali fizikalnega naparjevanja (PVD). Pozdravljamo vaše nadaljnje posvetovanje.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor Silicon Carbide Seal Ring kot profesionalni proizvajalec izdelkov in tovarna tesnilnih obročev iz silicijevega karbida na Kitajskem se pogosto uporablja v opremi za obdelavo polprevodnikov zaradi svoje odlične toplotne odpornosti, odpornosti proti koroziji, mehanske trdnosti in toplotne prevodnosti. Posebej primeren je za postopke, ki vključujejo visokotemperaturne in reaktivne pline, kot so CVD, PVD in plazemsko jedkanje, in je ključna izbira materiala v procesu izdelave polprevodnikov. Vaša dodatna vprašanja so dobrodošla.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je profesionalni proizvajalec in vodja izdelkov držal za rezine, prevlečenih s SiC, na Kitajskem. Držalo za rezine s prevleko iz SiC je držalo za rezine za postopek epitaksije pri obdelavi polprevodnikov. Je nenadomestljiva naprava, ki stabilizira rezino in zagotavlja enakomerno rast epitaksialne plasti. Pozdravljamo vaše nadaljnje posvetovanje.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je profesionalni proizvajalec Epi Wafer Holder in tovarna na Kitajskem. Epi Wafer Holder je držalo za rezine za postopek epitaksije pri obdelavi polprevodnikov. Je ključno orodje za stabilizacijo rezine in zagotavljanje enakomerne rasti epitaksialne plasti. Široko se uporablja v opremi za epitaksijo, kot sta MOCVD in LPCVD. Je nenadomestljiva naprava v procesu epitaksije. Pozdravljamo vaše nadaljnje posvetovanje.
Preberi večPošlji povpraševanje