domov > Izdelki > Prevleka iz silicijevega karbida

Kitajska Prevleka iz silicijevega karbida Proizvajalec, dobavitelj, tovarna

VeTek Semiconductor je specializiran za proizvodnjo izdelkov iz ultra čistega silicijevega karbida, ti premazi so zasnovani za nanašanje na prečiščen grafit, keramiko in ognjevzdržne kovinske komponente.

Naši premazi visoke čistosti so namenjeni predvsem uporabi v polprevodniški in elektronski industriji. Služijo kot zaščitna plast za nosilce rezin, suceptorje in grelne elemente ter jih ščitijo pred jedkimi in reaktivnimi okolji, do katerih pride v procesih, kot sta MOCVD in EPI. Ti procesi so sestavni del obdelave rezin in izdelave naprav. Poleg tega so naši premazi zelo primerni za uporabo v vakuumskih pečeh in segrevanje vzorcev, kjer se srečujemo z visokim vakuumom, reaktivnim okoljem in okoljem s kisikom.

Pri VeTek Semiconductor ponujamo celovito rešitev z našimi naprednimi zmogljivostmi strojne delavnice. To nam omogoča izdelavo osnovnih komponent z uporabo grafita, keramike ali ognjevzdržnih kovin in lastno nanašanje keramičnih prevlek SiC ali TaC. Nudimo tudi storitve premazovanja za dele, ki jih dobavljajo stranke, s čimer zagotavljamo prilagodljivost za izpolnjevanje različnih potreb.

Naši izdelki s prevleko iz silicijevega karbida se pogosto uporabljajo v Si epitaksiji, SiC epitaksiji, sistemu MOCVD, procesu RTP/RTA, postopku jedkanja, postopku jedkanja ICP/PSS, procesu različnih vrst LED, vključno z modro in zeleno LED, UV LED in globokim UV LED itd., ki je prilagojen opremi LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI itd.


Deli reaktorja, ki jih lahko naredimo:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Prevleka iz silicijevega karbida ima več edinstvenih prednosti:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


Parameter prevleke iz silicijevega karbida VeTek Semiconductor:

Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiC prevleke
Lastnina Tipična vrednost
Kristalna struktura FCC β faza polikristalna, pretežno (111) usmerjena
Gostota 3,21 g/cm³
Trdota 2500 Vickers trdota(500g obremenitev)
Velikost zrn 2~10 μm
Kemijska čistost 99,99995 %
Toplotna zmogljivost 640 J·kg-1·K-1
Temperatura sublimacije 2700 ℃
Upogibna trdnost 415 MPa RT 4-točkovno
Youngov modul 430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃
Toplotna prevodnost 300 W·m-1·K-1
Toplotna ekspanzija (CTE) 4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
SiC prevleka za rezine

SiC prevleka za rezine

Kot profesionalni proizvajalec in dobavitelj nosilcev rezin s prevleko SiC na Kitajskem se nosilci rezin s prevleko SiC podjetja Vetek Semiconductor uporabljajo predvsem za izboljšanje enotnosti rasti epitaksialne plasti, kar zagotavlja njihovo stabilnost in celovitost pri visokih temperaturah in korozivnih okoljih. Veselimo se vašega povpraševanja.

Preberi večPošlji povpraševanje
ALD receptor

ALD receptor

VeTek Semiconductor je profesionalni proizvajalec ALD susceptorja, CVD SiC prevleke, CVD TAC COATING grafitne osnove na Kitajskem. Vetek Semiconductor je skupaj razvil in proizvedel planetarne baze ALD, prevlečene s SiC, s proizvajalci sistemov ALD, da bi izpolnili visoke zahteve postopka ALD in enakomerno porazdelili zračni tok na podlago. Veselimo se nadaljnjega sodelovanja z vami.

Preberi večPošlji povpraševanje
Strop s prevleko iz CVD SiC

Strop s prevleko iz CVD SiC

Kot profesionalni proizvajalec in dobavitelj stropov s CVD SiC prevleko na Kitajskem ima VeTek Semiconductor strop s CVD SiC prevleko odlične lastnosti, kot so odpornost na visoke temperature, odpornost proti koroziji, visoka trdota in nizek koeficient toplotnega raztezanja, zaradi česar je idealna izbira materiala pri proizvodnji polprevodnikov. Veselimo se nadaljnjega sodelovanja z vami.

Preberi večPošlji povpraševanje
MOCVD LED Epi susceptor

MOCVD LED Epi susceptor

VeTek Semiconductor je profesionalni proizvajalec MOCVD LED Epi susceptorja, planetarnega ALD susceptorja, TaC prevlečenega grafitnega susceptorja na Kitajskem. MOCVD LED Epi Susceptor podjetja VeTek Semiconductor je zasnovan za uporabo v zahtevni epitaksialni opremi. Njegova visoka toplotna prevodnost, kemična stabilnost in vzdržljivost so ključni dejavniki za zagotavljanje stabilnega procesa epitaksialne rasti in visokokakovostne proizvodnje polprevodniškega filma. Veselimo se nadaljnjega sodelovanja z vami.

Preberi večPošlji povpraševanje
SiC prevleka ALD suceptor

SiC prevleka ALD suceptor

VeTek Semiconductor kot profesionalni proizvajalec in dobavitelj ALD prevleke s prevleko SiC na Kitajskem je podporna komponenta, ki se posebej uporablja v procesu nanašanja atomske plasti (ALD). Ima ključno vlogo v opremi ALD, saj zagotavlja enakomernost in natančnost postopka nanašanja. Verjamemo, da vam naši izdelki ALD Planetary Susceptor lahko prinesejo visokokakovostne rešitve izdelkov.

Preberi večPošlji povpraševanje
SiC Coating Epi sprejemnik

SiC Coating Epi sprejemnik

VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec, inovator in vodja izdelkov SiC Coating Epi Susceptor na Kitajskem. Že vrsto let se osredotočamo na različne izdelke s prevleko SiC, kot so prevleka SiC Epi, nosilec rezin s prevleko SiC, prevleka prevleke SiC, prevleka ALD s prevleko SiC itd. VeTek Semiconductor je zavezan zagotavljanju napredne tehnologije in proizvodnih rešitev za polprevodnike. industrija. Pozdravljamo vaše nadaljnje posvetovanje.

Preberi večPošlji povpraševanje
Kot profesionalni Prevleka iz silicijevega karbida proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem imamo lastno tovarno. Ne glede na to, ali potrebujete prilagojene storitve za izpolnjevanje posebnih potreb vaše regije ali želite kupiti napredno in vzdržljivo Prevleka iz silicijevega karbida, izdelano na Kitajskem, nam lahko pustite sporočilo.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept