Grelec VEECO MOCVD

Grelnik VeTeksemi VEECO MOCVD je izdelan iz grafitnega materiala visoke čistosti z vsebnostjo nečistoč, strogo nadzorovano pod 5 ppm, in prevlečen s silicijevim karbidom ultra visoke čistosti (SiC) s čistostjo več kot 99,99995 % skozipostopek kemičnega naparjevanja (CVD).. Ta kombinacija materialov daje grelniku vrsto ključnih lastnosti, ki zagotavljajo njegovo odlično delovanje vkovinsko organsko kemično naparjevanje (MOCVD)postopek.

Ena od izjemnih lastnosti grelnika VEECO MOCVD je njegova izredna kemična čistost. Grafitno jedro visoke čistosti močno zmanjša potencialni vnos kontaminantov v visokotemperaturnem procesu, kar zagotavlja ultra čist postopek nanašanja filma. TheCVD SiC prevlekazagotavlja dodatno zaščito za grelec in tvori močno oviro za preprečevanje kemičnih reakcij, ki lahko poškodujejo kakovost filma. Ta neprimerljiva čistost je bistvenega pomena za proizvodnjo visoko zmogljivih, zanesljivih polprevodniških naprav.

Hkrati grelec izkazuje izjemno visoko toplotno stabilnost in učinkovitost. SiC ima visoko tališče in odlično toplotno prevodnost, kar omogoča grelniku učinkovito upravljanje in prevajanje toplote. To zagotavlja enakomerno segrevanje po substratu, kar posledično pomaga doseči enakomerno nanašanje filma in zmanjša napake, ki jih povzročajo toplotni gradienti. Takšna toplotna učinkovitost je še posebej pomembna za natančno proizvodnjo.

Grelnik VEECO MOCVD odlikuje tudi električna zmogljivost. Njegovo grafitno jedro visoke čistosti ima odlično električno prevodnost, kar omogoča grelniku, da prenese visoke zahteve električne obremenitve. Ta stabilna električna zmogljivost omogoča grelniku, da vzdržuje natančen nadzor temperature in hitrost nanašanja v pogojih visoke obremenitve, kar je ključnega pomena za zagotavljanje doslednih procesnih pogojev in izboljšanje učinkovitosti proizvodnje polprevodnikov.

Površinska zasnova grelnika je bila skrbno optimizirana za visoko emisivnost substrata, kar bistveno izboljša učinkovitost sevalnega prenosa toplote. Sposobnost enakomernega segrevanja je ključni dejavnik pri zagotavljanju dosledne debeline in lastnosti nanosa filma. Zasnova površine z visoko emisijsko sposobnostjo izboljša tudi splošno toplotno učinkovitost grelnika, s čimer se zmanjša poraba energije in znižajo obratovalni stroški.

Kar zadeva vzdržljivost, grelnik VeTeksemi VEECO MOCVD izkazuje odlično odpornost proti koroziji, odpornost proti oksidaciji in mehansko trdnost. Prevleka CVD SiC zagotavlja trdno oviro za korozivne pline in kemikalije, ki so pogosti v procesih MOCVD, s čimer podaljša življenjsko dobo opreme in zmanjša potrebe po vzdrževanju in stroške zamenjave. Njegova odpornost proti oksidaciji zagotavlja, da grelnik ostane stabilen pri visokih temperaturah brez poslabšanja delovanja, kar zagotavlja dolgoročno stabilnost.

Poleg tega visoka mehanska trdnost grelnika MOCVD podjetja VeTeksemi omogoča, da prenese fizične obremenitve, ki nastanejo med termičnim cikliranjem in ravnanjem s substratom. Njegova robustnost zmanjšuje tveganje mehanske okvare in zagotavlja zanesljivo delovanje opreme v težkih procesnih pogojih.

VeTeksemi kot napreden proizvajalec in dobavitelj grelnih izdelkov VEECO MOCVD ponuja tudi vrsto visokokakovostnih grelnih izdelkov, kot so npr.TaC Coating Grelec, grafitni grelec s keramično prevleko iz silicijevega karbida, grelec s keramično prevleko iz silicijevega karbida, itd. VeTek Semiconductor je zavezan zagotavljanju napredne in prilagodljive tehnologije in proizvodnih rešitev za industrijo polprevodnikov. Iskreno upamo, da bomo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.