VeTek semiconductor je vodilni proizvajalec materialov za prevleko iz tantalovega karbida za industrijo polprevodnikov. Naša glavna ponudba izdelkov vključuje dele s prevleko iz tantalovega karbida CVD, dele s sintrano prevleko TaC za rast kristalov SiC ali postopek epitaksije polprevodnikov. VeTek Semiconductor, ki je opravil ISO9001, ima dober nadzor nad kakovostjo. VeTek Semiconductor je namenjen postati inovator v industriji prevlek iz tantalovega karbida s stalnimi raziskavami in razvojem ponavljajočih se tehnologij.
Glavni proizvodi soDefektorski obroč s prevleko iz tantalovega karbida, preusmerjevalni obroč s prevleko iz TaC, polmesečni deli s prevleko iz TaC, planetarni rotacijski disk s prevleko iz tantalovega karbida (Aixtron G10), lonček s prevleko iz TaC; TaC prevlečeni obroči; TaC prevlečen porozni grafit; Grafitni susceptor s prevleko iz tantalovega karbida; TaC prevlečen vodilni obroč; TaC plošča, prevlečena s tantalovim karbidom; TaC prevlečen suceptor za rezine; TaC prevlečni obroč; TaC prevleka iz grafita; TaC prevlečen kositd., čistost je pod 5 ppm, lahko izpolnjuje zahteve kupcev.
TaC prevlečni grafit je ustvarjen s prevleko površine grafitnega substrata visoke čistosti s fino plastjo tantalovega karbida z lastniškim postopkom kemičnega naparjevanja (CVD). Prednost je prikazana na spodnji sliki:
Prevleka iz tantalovega karbida (TaC) je pritegnila pozornost zaradi svojega visokega tališča do 3880 °C, odlične mehanske trdnosti, trdote in odpornosti na toplotne šoke, zaradi česar je privlačna alternativa za sestavljene postopke epitaksije polprevodnikov z višjimi temperaturnimi zahtevami, kot sta sistem Aixtron MOCVD in postopek epitaksije SiC LPE. Ima tudi široko uporabo v procesu rasti kristalov SiC metode PVT.
●Temperaturna stabilnost
●Ultra visoka čistost
●Odpornost na H2, NH3, SiH4,Si
●Odpornost na toplotno zalogo
●Močan oprijem na grafit
●Konformna prevleka
● Velikost do premera 750 mm (Edini proizvajalec na Kitajskem dosega to velikost)
● Induktivni grelni sprejemnik
● Uporovni grelni element
● Toplotni ščit
Fizikalne lastnosti TaC prevleke | |
Gostota | 14,3 (g/cm³) |
Specifična emisijska sposobnost | 0.3 |
Koeficient toplotnega raztezanja | 6,3 10-6/K |
Trdota (HK) | 2000 HK |
Odpornost | 1×10-5Ohm*cm |
Toplotna stabilnost | <2500 ℃ |
Spremembe velikosti grafita | -10~-20um |
Debelina nanosa | Tipična vrednost ≥20um (35um±10um) |
Element | Atomski odstotek | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Povprečje | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in inovator obroča s tremi lističi s prevleko iz TaC na Kitajskem. Že vrsto let smo specializirani za prevleke iz TaC in SiC. Naši izdelki so odporni proti koroziji in imajo visoko trdnost. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in inovator vpenjal, prevlečenih s tantalovim karbidom, na Kitajskem. Že vrsto let smo specializirani za prevleko TaC. Naši izdelki imajo visoko čistost in visoko temperaturno odpornost do 2000 ℃. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec pokrovov s prevleko iz tantalovega karbida in inovator na Kitajskem. Že vrsto let smo specializirani za premaze TaC in SiC. Naši izdelki so odporni proti koroziji in imajo visoko trdnost. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjePorozni grafit s prevleko TaC je napreden material za obdelavo polprevodnikov, ki ga zagotavlja VeTek Semiconductor. Porozni grafit s prevleko TaC združuje prednosti prevleke iz poroznega grafita in tantalovega karbida (TaC) z dobro toplotno prevodnostjo in prepustnostjo plinov. VeTek Semiconductor je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah in veselimo se, da bomo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in inovator prevleke iz tantalovega karbida na Kitajskem. Osredotočeni smo na zagotavljanje izdelkov iz tantalovega karbida visoke čistosti, odpornih na visoke temperature. Naš pokrov, prevlečen s tantalovim karbidom, ima odlično zmogljivost in zanesljivost ter lahko učinkovito zaščiti materiale v izjemno visokih temperaturah in korozivnih okoljih. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeDeflektorski obroč s prevleko iz TaC podjetja VeTek Semiconductor je visoko specializirana komponenta, zasnovana za procese rasti kristalov SiC. Prevleka TaC zagotavlja odlično odpornost na visoke temperature in kemično inertnost za spopadanje z visokimi temperaturami in korozivnimi okolji med procesom rasti kristalov. To zagotavlja stabilno delovanje in dolgo življenjsko dobo komponente ter zmanjša pogostost zamenjave in izpadov. Zavezani smo zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah in veselimo se, da bomo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanje