VeTek semiconductor je vodilni proizvajalec materialov za prevleko iz tantalovega karbida za industrijo polprevodnikov. Naša glavna ponudba izdelkov vključuje dele s prevleko iz tantalovega karbida CVD, dele s sintrano prevleko TaC za rast kristalov SiC ali postopek epitaksije polprevodnikov. VeTek Semiconductor, ki je opravil ISO9001, ima dober nadzor nad kakovostjo. VeTek Semiconductor je namenjen postati inovator v industriji prevlek iz tantalovega karbida s stalnimi raziskavami in razvojem ponavljajočih se tehnologij.
Glavni proizvodi soDefektorski obroč s prevleko iz tantalovega karbida, preusmerjevalni obroč s prevleko iz TaC, polmesečni deli s prevleko iz TaC, planetarni rotacijski disk s prevleko iz tantalovega karbida (Aixtron G10), lonček s prevleko iz TaC; TaC prevlečeni obroči; TaC prevlečen porozni grafit; Grafitni susceptor s prevleko iz tantalovega karbida; TaC prevlečen vodilni obroč; TaC plošča, prevlečena s tantalovim karbidom; TaC prevlečen suceptor za rezine; TaC prevlečni obroč; TaC prevleka iz grafita; TaC prevlečen kositd., čistost je pod 5 ppm, lahko izpolnjuje zahteve kupcev.
TaC prevlečni grafit je ustvarjen s prevleko površine grafitnega substrata visoke čistosti s fino plastjo tantalovega karbida z lastniškim postopkom kemičnega naparjevanja (CVD). Prednost je prikazana na spodnji sliki:
Prevleka iz tantalovega karbida (TaC) je pritegnila pozornost zaradi svojega visokega tališča do 3880 °C, odlične mehanske trdnosti, trdote in odpornosti na toplotne šoke, zaradi česar je privlačna alternativa za sestavljene postopke epitaksije polprevodnikov z višjimi temperaturnimi zahtevami, kot sta sistem Aixtron MOCVD in postopek epitaksije SiC LPE. Ima tudi široko uporabo v procesu rasti kristalov SiC metode PVT.
●Temperaturna stabilnost
●Ultra visoka čistost
●Odpornost na H2, NH3, SiH4,Si
●Odpornost na toplotno zalogo
●Močan oprijem na grafit
●Konformna prevleka
● Velikost do premera 750 mm (Edini proizvajalec na Kitajskem dosega to velikost)
● Induktivni grelni sprejemnik
● Uporovni grelni element
● Toplotni ščit
Fizikalne lastnosti TaC prevleke | |
Gostota | 14,3 (g/cm³) |
Specifična emisijska sposobnost | 0.3 |
Koeficient toplotnega raztezanja | 6,3 10-6/K |
Trdota (HK) | 2000 HK |
Odpornost | 1×10-5Ohm*cm |
Toplotna stabilnost | <2500 ℃ |
Spremembe velikosti grafita | -10~-20um |
Debelina nanosa | Tipična vrednost ≥20um (35um±10um) |
Element | Atomski odstotek | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Povprečje | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in inovator cevi, prevlečenih s tantalovim karbidom, za rast kristalov na Kitajskem. Že vrsto let smo specializirani za keramične prevleke. Naši izdelki imajo visoko čistost in odpornost na visoke temperature. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je obsežen obroč s prevleko iz TaC za proizvajalec in inovator epitaksialnih reaktorjev SiC na Kitajskem. Že vrsto let smo specializirani za prevleko iz TaC. Naši izdelki imajo visoko čistost, visoko stabilnost, odlično odpornost proti koroziji in visoko trdnost vezi. veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je obsežen polmesečni del s prevleko iz tantalovega karbida za proizvajalca in inovatorja LPE na Kitajskem. Že vrsto let smo specializirani za prevleko TaC. Naši izdelki lahko prenesejo temperature nad 2000 stopinj Celzija, podaljšujejo življenjsko dobo potrošnega materiala. Veselimo se postati vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec vodilnih obročev s prevleko iz TaC in inovator na Kitajskem. Že vrsto let smo specializirani za keramične prevleke. Vodilni obroči s prevleko iz TaC se uporabljajo predvsem za vodenje in nadzor pretoka zraka, kar povečuje izkoristek rasti monokristalov. Dobrodošli, da nas povprašate za dodatne informacije.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in inovator planetarnih rotacijskih diskov, prevlečenih s tantalovim karbidom, na Kitajskem. Že vrsto let smo specializirani za keramične prevleke. Naši izdelki imajo visoko čistost in odpornost na visoke temperature. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner v Kitajska.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in inovator grafitnih nosilcev za rezine s TaC prevleko na Kitajskem. Že vrsto let smo specializirani za prevleke iz SiC in TaC. Naš grafitni nosilec za rezine s prevleko iz TaC ima višjo temperaturno odpornost in je odporen proti obrabi. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanje