Kitajska Postopek epitaksije SiC Proizvajalec, dobavitelj, tovarna

Edinstvene karbidne prevleke VeTek Semiconductor zagotavljajo vrhunsko zaščito za grafitne dele v postopku epitaksije SiC za obdelavo zahtevnih polprevodniških in kompozitnih polprevodniških materialov. Rezultat je podaljšana življenjska doba grafitne komponente, ohranitev reakcijske stehiometrije, zaviranje migracije nečistoč v aplikacije za epitaksijo in rast kristalov, kar ima za posledico povečan izkoristek in kakovost.

Naši premazi iz tantalovega karbida (TaC) ščitijo kritične komponente peči in reaktorja pri visokih temperaturah (do 2200 °C) pred vročim amoniakom, vodikom, silicijevimi hlapi in staljenimi kovinami. VeTek Semiconductor ima široko paleto zmožnosti obdelave grafita in merjenja, da izpolni vaše prilagojene zahteve, tako da lahko ponudimo plačljiv premaz ali celotno storitev, z našo ekipo strokovnih inženirjev, ki je pripravljena oblikovati pravo rešitev za vas in vašo specifično aplikacijo. .

Sestavljeni polprevodniški kristali

VeTek Semiconductor lahko zagotovi posebne TaC prevleke za različne komponente in nosilce. Preko VeTek Semiconductor-jevega vodilnega postopka nanašanja premazov v industriji lahko prevleka TaC pridobi visoko čistost, visoko temperaturno stabilnost in visoko kemično odpornost, s čimer izboljša kakovost izdelka kristalnih plasti TaC/GaN) in EPL ter podaljša življenjsko dobo kritičnih komponent reaktorja.

Toplotni izolatorji

Komponente za rast kristalov SiC, GaN in AlN, vključno s lončki, držali za setve, deflektorji in filtri. Industrijski sklopi, vključno z uporovnimi grelnimi elementi, šobami, zaščitnimi obročki in napeljavami za trdo spajkanje, epitaksialnimi reaktorskimi komponentami GaN in SiC, vključno z nosilci rezin, satelitskimi pladnji, glavami za prho, pokrovi in podstavki, komponentami MOCVD.

Namen:

Nosilec rezin LED (svetleča dioda).

ALD (polprevodniški) sprejemnik

Receptor EPI (postopek epitaksije SiC)

Satelitski susceptor, prevlečen s TaC TaC prevleka in obroč TaC Coating deli Deli Halfmoon s prevleko TaC

Primerjava prevleke SiC in prevleke TaC:

	SiC	TaC
Glavne značilnosti	Ultra visoka čistost, odlična odpornost na plazmo	Odlična stabilnost pri visokih temperaturah (skladnost procesa pri visokih temperaturah)
Čistost	> 99,9999 %	> 99,9999 %
Gostota (g/cm3)	3.21	15
Trdota (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Upornost [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Toplotna prevodnost (W/m-K)	200-360	22
Koeficient toplotnega raztezanja (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Aplikacija	Polprevodniška oprema Keramična šablona (fokusni obroč, glava za prho, navidezna rezina)	SiC Rast monokristalov, Epi, UV LED deli opreme

View as

CVD TaC Coating Wafer Carrier

VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier je profesionalni proizvajalec in tovarna izdelkov za nosilce rezin s prevleko CVD TaC na Kitajskem, orodje za prenašanje rezin, posebej zasnovano za visokotemperaturna in jedka okolja v proizvodnji polprevodnikov. Ta izdelek ima visoko mehansko trdnost, odlično odpornost proti koroziji in toplotno stabilnost, kar zagotavlja potrebno garancijo za proizvodnjo visokokakovostnih polprevodniških naprav. Vaša dodatna vprašanja so dobrodošla.

Preberi več Pošlji povpraševanje

TaC Coating Grelec

VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in inovator TaC Coating Heater na Kitajskem. Ta izdelek ima izjemno visoko tališče (približno 3880 °C). Visoko tališče TaC Coating Heater omogoča, da deluje pri izjemno visokih temperaturah, zlasti pri rasti epitaksialnih plasti galijevega nitrida (GaN) v postopku kemičnega naparjevanja kovin (MOCVD). VeTek Semiconductor je zavezan zagotavljanju napredne tehnologije in proizvodnih rešitev za industrijo polprevodnikov. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Preberi več Pošlji povpraševanje

TaC prevlečena vpenjalna glava

VeTek Semiconductor kot profesionalni proizvajalec in dobavitelj vpenjal s prevleko iz TaC na Kitajskem je zasnovana posebej za polprevodniške peči. S svojo odpornostjo na visoke temperature, kemično inertnostjo in odlično zmogljivostjo inovativna tehnologija Vetek Semiconductor zagotavlja zanesljivo rešitev za industrijo proizvodnje polprevodnikov za zagotavljanje proizvodnih standardov visoke kakovosti. Verjamemo, da vam naši izdelki lahko prinesejo napredno tehnologijo in visokokakovostne rešitve izdelkov.

Preberi več Pošlji povpraševanje

TaC Coating Tube

VeTek Semiconductor kot profesionalni proizvajalec in dobavitelj cevi s prevleko iz TaC na Kitajskem je ključna komponenta za uspešno rast monokristalov silicijevega karbida. S svojo odpornostjo na visoke temperature, kemično inertnostjo in odlično zmogljivostjo zagotavlja proizvodnjo visokokakovostnih kristalov z doslednimi rezultati. Zaupajte našim inovativnim rešitvam za izboljšanje procesa rasti kristalov SiC po metodi PVT in doseganje odličnih rezultatov. Dobrodošli, da nas povprašate.

Preberi več Pošlji povpraševanje

CVD TAC premaz

VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec, inovator in vodja CVD TAC Coating na Kitajskem. Že vrsto let se osredotočamo na različne izdelke za prevleke CVD TAC, kot so pokrov za prevleko CVD TaC, obroč za prevleko CVD TaC, nosilec prevleke CVD TaC itd. VeTek Semiconductor podpira prilagojene storitve izdelkov in zadovoljive cene izdelkov ter se veseli vašega nadaljnjega posvetovanje.

Preberi več Pošlji povpraševanje

Nadomestni del za premaz TaC

VeTek Semiconductor je profesionalni proizvajalec plošče za prevleko TaC in drugih rezervnih delov za prevleko TaC na Kitajskem. Prevleka TaC se trenutno večinoma uporablja v postopkih, kot je rast monokristalov iz silicijevega karbida (metoda PVT), epitaksialni disk (vključno z epitaksijo iz silicijevega karbida, epitaksija LED) itd. V kombinaciji z dobro dolgoročno stabilnostjo prevlečne plošče iz TaC, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate je postala merilo za rezervne dele za TaC Coating. Veselimo se, da boste postali naš dolgoročni partner.

Preberi več Pošlji povpraševanje

<1 2 3 4 5...6 >

Kot profesionalni Postopek epitaksije SiC proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem imamo lastno tovarno. Ne glede na to, ali potrebujete prilagojene storitve za izpolnjevanje posebnih potreb vaše regije ali želite kupiti napredno in vzdržljivo Postopek epitaksije SiC, izdelano na Kitajskem, nam lahko pustite sporočilo.