Kitajska Postopek epitaksije SiC Proizvajalec, dobavitelj, tovarna

Edinstvene karbidne prevleke VeTek Semiconductor zagotavljajo vrhunsko zaščito za grafitne dele v postopku epitaksije SiC za obdelavo zahtevnih polprevodniških in kompozitnih polprevodniških materialov. Rezultat je podaljšana življenjska doba grafitne komponente, ohranitev reakcijske stehiometrije, zaviranje migracije nečistoč v aplikacije za epitaksijo in rast kristalov, kar ima za posledico povečan izkoristek in kakovost.

Naši premazi iz tantalovega karbida (TaC) ščitijo kritične komponente peči in reaktorja pri visokih temperaturah (do 2200 °C) pred vročim amoniakom, vodikom, silicijevimi hlapi in staljenimi kovinami. VeTek Semiconductor ima široko paleto zmožnosti obdelave grafita in merjenja, da izpolni vaše prilagojene zahteve, tako da lahko ponudimo plačljiv premaz ali celotno storitev, z našo ekipo strokovnih inženirjev, ki je pripravljena oblikovati pravo rešitev za vas in vašo specifično aplikacijo. .

Sestavljeni polprevodniški kristali

VeTek Semiconductor lahko zagotovi posebne TaC prevleke za različne komponente in nosilce. Preko VeTek Semiconductor-jevega vodilnega postopka nanašanja premazov v industriji lahko prevleka TaC pridobi visoko čistost, visoko temperaturno stabilnost in visoko kemično odpornost, s čimer izboljša kakovost izdelka kristalnih plasti TaC/GaN) in EPL ter podaljša življenjsko dobo kritičnih komponent reaktorja.

Toplotni izolatorji

Komponente za rast kristalov SiC, GaN in AlN, vključno s lončki, držali za setve, deflektorji in filtri. Industrijski sklopi, vključno z uporovnimi grelnimi elementi, šobami, zaščitnimi obročki in napeljavami za trdo spajkanje, epitaksialnimi reaktorskimi komponentami GaN in SiC, vključno z nosilci rezin, satelitskimi pladnji, glavami za prho, pokrovi in podstavki, komponentami MOCVD.

Namen:

Nosilec rezin LED (svetleča dioda).

ALD (polprevodniški) sprejemnik

Receptor EPI (postopek epitaksije SiC)

Satelitski susceptor, prevlečen s TaC TaC prevleka in obroč TaC Coating deli Deli Halfmoon s prevleko TaC

Primerjava prevleke SiC in prevleke TaC:

	SiC	TaC
Glavne značilnosti	Ultra visoka čistost, odlična odpornost na plazmo	Odlična stabilnost pri visokih temperaturah (skladnost procesa pri visokih temperaturah)
Čistost	> 99,9999 %	> 99,9999 %
Gostota (g/cm3)	3.21	15
Trdota (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Upornost [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Toplotna prevodnost (W/m-K)	200-360	22
Koeficient toplotnega raztezanja (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Aplikacija	Polprevodniška oprema Keramična šablona (fokusni obroč, glava za prho, navidezna rezina)	SiC Rast monokristalov, Epi, UV LED deli opreme

View as

Prstan iz tantalovega karbida

Kot napreden proizvajalec in proizvajalec izdelkov iz tantalovega karbidnega obroča na Kitajskem ima VeTek Semiconductor tantalov karbidni obroč izjemno visoko trdoto, odpornost proti obrabi, odpornost na visoke temperature in kemično stabilnost ter se pogosto uporablja na področju proizvodnje polprevodnikov. Zlasti pri CVD, PVD, procesu ionske implantacije, postopku jedkanja ter obdelavi in transportu rezin je nepogrešljiv izdelek za obdelavo in proizvodnjo polprevodnikov. Veselimo se vašega nadaljnjega posvetovanja.

Preberi več Pošlji povpraševanje

Podpora za prevleko iz tantalovega karbida

VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support kot profesionalni proizvajalec in tovarna izdelkov za podporo prevleke iz tantalovega karbida na Kitajskem se običajno uporablja za površinsko prevleko strukturnih komponent ali podpornih komponent v polprevodniški opremi, zlasti za površinsko zaščito ključnih komponent opreme v proizvodnih procesih polprevodnikov, kot je npr. CVD in PVD. Pozdravljamo vaše nadaljnje posvetovanje.

Preberi več Pošlji povpraševanje

Vodilni obroč iz tantalovega karbida

VeTek Semiconductor je profesionalni proizvajalec in vodja izdelkov vodilnih obročev iz tantalovega karbida na Kitajskem. Naš vodilni obroč iz tantalovega karbida (TaC) je visoko zmogljiva komponenta obroča iz tantalovega karbida, ki se običajno uporablja v opremi za obdelavo polprevodnikov, zlasti v visokotemperaturnih in zelo korozivnih okoljih, kot so CVD, PVD, jedkanje in difuzija. VeTek Semiconductor je zavezan zagotavljanju napredne tehnologije in proizvodnih rešitev za industrijo polprevodnikov in pozdravlja vaša nadaljnja povpraševanja.

Preberi več Pošlji povpraševanje

TaC Coating Rotation Susceptor

Kot profesionalni proizvajalec, inovator in vodja izdelkov TaC Coating Rotation Susceptor na Kitajskem. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor je običajno nameščen v opremi za nanašanje s kemičnim naparjevanjem (CVD) in epitaksijo z molekularnim žarkom (MBE) za podporo in vrtenje rezin, da se zagotovi enakomerno nanašanje materiala in učinkovita reakcija. Je ključna komponenta pri obdelavi polprevodnikov. Pozdravljamo vaše nadaljnje posvetovanje.

Preberi več Pošlji povpraševanje

CVD TaC Coating Crucible

VeTek Semiconductor je profesionalni proizvajalec in vodja izdelkov CVD TaC Coating Crucible na Kitajskem. CVD TaC Coating Crucible temelji na prevleki iz tantalovega ogljika (TaC). Prevleka iz tantalovega ogljika je enakomerno prekrita na površini lončka s postopkom kemičnega naparjevanja (CVD), da se poveča njegova toplotna odpornost in odpornost proti koroziji. To je materialno orodje, ki se posebej uporablja v okoljih z visoko temperaturo. Pozdravljamo vaše nadaljnje posvetovanje.

Preberi več Pošlji povpraševanje

CVD TaC Coating Wafer Carrier

VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier je profesionalni proizvajalec in tovarna izdelkov za nosilce rezin s prevleko CVD TaC na Kitajskem, orodje za prenašanje rezin, posebej zasnovano za visokotemperaturna in jedka okolja v proizvodnji polprevodnikov. in CVD TaC Coating Wafer Carrier ima visoko mehansko trdnost, odlično odpornost proti koroziji in toplotno stabilnost, kar zagotavlja potrebno garancijo za proizvodnjo visokokakovostnih polprevodniških naprav. Vaša dodatna vprašanja so dobrodošla.

Preberi več Pošlji povpraševanje

<1 2 3 4 5...7 >

Kot profesionalni Postopek epitaksije SiC proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem imamo lastno tovarno. Ne glede na to, ali potrebujete prilagojene storitve za izpolnjevanje posebnih potreb vaše regije ali želite kupiti napredno in vzdržljivo Postopek epitaksije SiC, izdelano na Kitajskem, nam lahko pustite sporočilo.