Podpora za prevleko iz tantalovega karbida

Glavna funkcija VeTek SemiconductorPrevleka iz tantalovega karbida (TaC).Podpora je izboljšatitoplotna odpornost, odpornost proti obrabi in odpornost proti korozijisubstrata tako, da nanesete plast tantalovega karbidnega premaza, da izboljšate natančnost in zanesljivost postopka ter podaljšate življenjsko dobo komponent. Je visoko zmogljiv premazni izdelek, ki se uporablja na področju obdelave polprevodnikov.

VeTek Semiconductor's Tantalum Carbide Coating Support ima Mohsovo trdoto skoraj 9~10, takoj za diamantom. Ima izjemno močno odpornost proti obrabi in se lahko učinkovito upira površinski obrabi in udarcem med obdelavo, s čimer učinkovito podaljša življenjsko dobo komponent opreme. V kombinaciji z visokim tališčem okoli 3880 °C se pogosto uporablja za premazovanje ključnih komponent polprevodniške opreme, kot so površinski premazi podpornih struktur, oprema za toplotno obdelavo, komore ali tesnila v polprevodniški opremi za izboljšanje njegove odpornosti proti obrabi in visokim temperaturam. odpornost.

Zaradi izredno visokega tališča tantalovega karbida, približno 3880 °C, se v postopkih obdelave polprevodnikov, kot je npr.kemično naparjevanje (CVD)infizično naparjevanje (PVD), Prevleka TaC z močno odpornostjo na visoke temperature in odpornostjo proti kemični koroziji lahko učinkovito zaščiti komponente opreme in prepreči korozijo ali poškodbe podlage v ekstremnih okoljih, kar zagotavlja učinkovito zaščito za okolja z visoko temperaturo pri proizvodnji rezin. Ta funkcija tudi določa, da se podpora za prevleko iz tantalovega karbida VeTek Semiconductor pogosto uporablja pri jedkanju in korozivnih postopkih.

Podpora za prevleko iz tantalovega karbida ima tudi funkcijo zmanjševanja kontaminacije z delci. Med obdelavo rezin površinska obraba običajno povzroči kontaminacijo z delci, kar vpliva na kakovost izdelka rezine. Ekstremne lastnosti izdelka TaC Coating s trdoto blizu 9-10 po Mohsu lahko učinkovito zmanjšajo to obrabo in s tem zmanjšajo nastajanje delcev. V kombinaciji z odlično toplotno prevodnostjo prevleke TaC (približno 21 W/m·K) lahko ohrani dobro toplotno prevodnost pri visokih temperaturah, s čimer močno izboljša izkoristek in doslednost proizvodnje rezin.

Glavni izdelki VeTek Semiconductor TaC Coating vključujejoTaC Coating Grelec, CVD TaC Coating Crucible, TaC Coating Rotation SusceptorinNadomestni del za premaz TaC, itd., in podpira prilagojene storitve izdelkov. VeTek Semiconductor je zavezan zagotavljanju odličnih izdelkov in tehničnih rešitev za industrijo polprevodnikov. Iskreno upamo, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Prevleka tantalovega karbida (TaC) na mikroskopskem prerezu:

Osnovne fizikalne lastnosti CVD TaC prevleke：