VeTek semiconductor je vodilni proizvajalec materialov za prevleko iz tantalovega karbida za industrijo polprevodnikov. Naša glavna ponudba izdelkov vključuje dele s prevleko iz tantalovega karbida CVD, dele s sintrano prevleko TaC za rast kristalov SiC ali postopek epitaksije polprevodnikov. VeTek Semiconductor, ki je opravil ISO9001, ima dober nadzor nad kakovostjo. VeTek Semiconductor je namenjen postati inovator v industriji prevlek iz tantalovega karbida s stalnimi raziskavami in razvojem ponavljajočih se tehnologij.
Glavni proizvodi soDefektorski obroč s prevleko iz tantalovega karbida, preusmerjevalni obroč s prevleko iz TaC, polmesečni deli s prevleko iz TaC, planetarni rotacijski disk s prevleko iz tantalovega karbida (Aixtron G10), lonček s prevleko iz TaC; TaC prevlečeni obroči; TaC prevlečen porozni grafit; Grafitni susceptor s prevleko iz tantalovega karbida; TaC prevlečen vodilni obroč; TaC plošča, prevlečena s tantalovim karbidom; TaC prevlečen suceptor za rezine; TaC prevlečni obroč; TaC prevleka iz grafita; TaC prevlečen kositd., čistost je pod 5 ppm, lahko izpolnjuje zahteve kupcev.
TaC prevlečni grafit je ustvarjen s prevleko površine grafitnega substrata visoke čistosti s fino plastjo tantalovega karbida z lastniškim postopkom kemičnega naparjevanja (CVD). Prednost je prikazana na spodnji sliki:
Prevleka iz tantalovega karbida (TaC) je pritegnila pozornost zaradi svojega visokega tališča do 3880 °C, odlične mehanske trdnosti, trdote in odpornosti na toplotne šoke, zaradi česar je privlačna alternativa za sestavljene postopke epitaksije polprevodnikov z višjimi temperaturnimi zahtevami, kot sta sistem Aixtron MOCVD in postopek epitaksije SiC LPE. Ima tudi široko uporabo v procesu rasti kristalov SiC metode PVT.
●Temperaturna stabilnost
●Ultra visoka čistost
●Odpornost na H2, NH3, SiH4,Si
●Odpornost na toplotno zalogo
●Močan oprijem na grafit
●Konformna prevleka
● Velikost do premera 750 mm (Edini proizvajalec na Kitajskem dosega to velikost)
● Induktivni grelni sprejemnik
● Uporovni grelni element
● Toplotni ščit
Fizikalne lastnosti TaC prevleke | |
Gostota | 14,3 (g/cm³) |
Specifična emisijska sposobnost | 0.3 |
Koeficient toplotnega raztezanja | 6,3 10-6/K |
Trdota (HK) | 2000 HK |
Odpornost | 1×10-5Ohm*cm |
Toplotna stabilnost | <2500 ℃ |
Spremembe velikosti grafita | -10~-20um |
Debelina nanosa | Tipična vrednost ≥20um (35um±10um) |
Element | Atomski odstotek | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Povprečje | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor je profesionalni proizvajalec in vodja izdelkov CVD TaC Coating Crucible na Kitajskem. CVD TaC Coating Crucible temelji na prevleki iz tantalovega ogljika (TaC). Prevleka iz tantalovega ogljika je enakomerno prekrita na površini lončka s postopkom kemičnega naparjevanja (CVD), da se poveča njegova toplotna odpornost in odpornost proti koroziji. To je materialno orodje, ki se posebej uporablja v okoljih z visoko temperaturo. Pozdravljamo vaše nadaljnje posvetovanje.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier je profesionalni proizvajalec in tovarna izdelkov za nosilce rezin s prevleko CVD TaC na Kitajskem, orodje za prenašanje rezin, posebej zasnovano za visokotemperaturna in jedka okolja v proizvodnji polprevodnikov. in CVD TaC Coating Wafer Carrier ima visoko mehansko trdnost, odlično odpornost proti koroziji in toplotno stabilnost, kar zagotavlja potrebno garancijo za proizvodnjo visokokakovostnih polprevodniških naprav. Vaša dodatna vprašanja so dobrodošla.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in inovator TaC Coating Heater na Kitajskem. Ta izdelek ima izjemno visoko tališče (približno 3880 °C). Visoko tališče TaC Coating Heater omogoča, da deluje pri izjemno visokih temperaturah, zlasti pri rasti epitaksialnih plasti galijevega nitrida (GaN) v postopku kemičnega naparjevanja kovin (MOCVD). VeTek Semiconductor je zavezan zagotavljanju napredne tehnologije in proizvodnih rešitev za industrijo polprevodnikov. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor kot profesionalni proizvajalec in dobavitelj vpenjal s prevleko iz TaC na Kitajskem je zasnovana posebej za polprevodniške peči. S svojo odpornostjo na visoke temperature, kemično inertnostjo in odlično zmogljivostjo inovativna tehnologija Vetek Semiconductor zagotavlja zanesljivo rešitev za industrijo proizvodnje polprevodnikov za zagotavljanje proizvodnih standardov visoke kakovosti. Verjamemo, da vam naši izdelki lahko prinesejo napredno tehnologijo in visokokakovostne rešitve izdelkov.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor kot profesionalni proizvajalec in dobavitelj cevi s prevleko iz TaC na Kitajskem je ključna komponenta za uspešno rast monokristalov silicijevega karbida. S svojo odpornostjo na visoke temperature, kemično inertnostjo in odlično zmogljivostjo zagotavlja proizvodnjo visokokakovostnih kristalov z doslednimi rezultati. Zaupajte našim inovativnim rešitvam za izboljšanje procesa rasti kristalov SiC po metodi PVT in doseganje odličnih rezultatov. Dobrodošli, da nas povprašate.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec, inovator in vodja CVD TAC Coating na Kitajskem. Že vrsto let se osredotočamo na različne izdelke za prevleke CVD TAC, kot so pokrov za prevleko CVD TaC, obroč za prevleko CVD TaC, nosilec prevleke CVD TaC itd. VeTek Semiconductor podpira prilagojene storitve izdelkov in zadovoljive cene izdelkov ter se veseli vašega nadaljnjega posvetovanje.
Preberi večPošlji povpraševanje