VeTek semiconductor je vodilni proizvajalec materialov za prevleko iz tantalovega karbida za industrijo polprevodnikov. Naša glavna ponudba izdelkov vključuje dele s prevleko iz tantalovega karbida CVD, dele s sintrano prevleko TaC za rast kristalov SiC ali postopek epitaksije polprevodnikov. VeTek Semiconductor, ki je opravil ISO9001, ima dober nadzor nad kakovostjo. VeTek Semiconductor je namenjen postati inovator v industriji prevlek iz tantalovega karbida s stalnimi raziskavami in razvojem ponavljajočih se tehnologij.
Glavni proizvodi soDefektorski obroč s prevleko iz tantalovega karbida, preusmerjevalni obroč s prevleko iz TaC, polmesečni deli s prevleko iz TaC, planetarni rotacijski disk s prevleko iz tantalovega karbida (Aixtron G10), lonček s prevleko iz TaC; TaC prevlečeni obroči; TaC prevlečen porozni grafit; Grafitni susceptor s prevleko iz tantalovega karbida; TaC prevlečen vodilni obroč; TaC plošča, prevlečena s tantalovim karbidom; TaC prevlečen suceptor za rezine; TaC prevlečni obroč; TaC prevleka iz grafita; TaC prevlečen kositd., čistost je pod 5 ppm, lahko izpolnjuje zahteve kupcev.
TaC prevlečni grafit je ustvarjen s prevleko površine grafitnega substrata visoke čistosti s fino plastjo tantalovega karbida z lastniškim postopkom kemičnega naparjevanja (CVD). Prednost je prikazana na spodnji sliki:
Prevleka iz tantalovega karbida (TaC) je pritegnila pozornost zaradi svojega visokega tališča do 3880 °C, odlične mehanske trdnosti, trdote in odpornosti na toplotne šoke, zaradi česar je privlačna alternativa za sestavljene postopke epitaksije polprevodnikov z višjimi temperaturnimi zahtevami, kot sta sistem Aixtron MOCVD in postopek epitaksije SiC LPE. Ima tudi široko uporabo v procesu rasti kristalov SiC metode PVT.
●Temperaturna stabilnost
●Ultra visoka čistost
●Odpornost na H2, NH3, SiH4,Si
●Odpornost na toplotno zalogo
●Močan oprijem na grafit
●Konformna prevleka
● Velikost do premera 750 mm (Edini proizvajalec na Kitajskem dosega to velikost)
● Induktivni grelni sprejemnik
● Uporovni grelni element
● Toplotni ščit
Fizikalne lastnosti TaC prevleke | |
Gostota | 14,3 (g/cm³) |
Specifična emisijska sposobnost | 0.3 |
Koeficient toplotnega raztezanja | 6,3 10-6/K |
Trdota (HK) | 2000 HK |
Odpornost | 1×10-5Ohm*cm |
Toplotna stabilnost | <2500 ℃ |
Spremembe velikosti grafita | -10~-20um |
Debelina nanosa | Tipična vrednost ≥20um (35um±10um) |
Element | Atomski odstotek | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Povprečje | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Kot profesionalni inovator in vodja izdelkov s prevleko iz tantalovega karbida na Kitajskem ima VeTek polprevodniški obroč s prevleko iz tantalovega karbida nenadomestljivo vlogo pri rasti kristalov SiC s svojo odlično odpornostjo na visoke temperature, odpornostjo proti obrabi in odlično toplotno prevodnostjo. Pozdravljamo vaše nadaljnje posvetovanje.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je profesionalni proizvajalec in vodja izdelkov iz poroznega tantalovega karbida na Kitajskem. Porozni tantalov karbid se običajno proizvaja z metodo kemičnega naparjevanja (CVD), kar zagotavlja natančen nadzor njegove velikosti in porazdelitve por, in je materialno orodje, namenjeno ekstremnim visokotemperaturnim okoljem. Pozdravljamo vaše nadaljnje posvetovanje.
Preberi večPošlji povpraševanjeKot napreden proizvajalec in proizvajalec izdelkov iz tantalovega karbidnega obroča na Kitajskem ima VeTek Semiconductor tantalov karbidni obroč izjemno visoko trdoto, odpornost proti obrabi, odpornost na visoke temperature in kemično stabilnost ter se pogosto uporablja na področju proizvodnje polprevodnikov. Zlasti pri CVD, PVD, procesu ionske implantacije, postopku jedkanja ter obdelavi in transportu rezin je nepogrešljiv izdelek za obdelavo in proizvodnjo polprevodnikov. Veselimo se vašega nadaljnjega posvetovanja.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support kot profesionalni proizvajalec in tovarna izdelkov za podporo prevleke iz tantalovega karbida na Kitajskem se običajno uporablja za površinsko prevleko strukturnih komponent ali podpornih komponent v polprevodniški opremi, zlasti za površinsko zaščito ključnih komponent opreme v proizvodnih procesih polprevodnikov, kot je npr. CVD in PVD. Pozdravljamo vaše nadaljnje posvetovanje.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je profesionalni proizvajalec in vodja izdelkov vodilnih obročev iz tantalovega karbida na Kitajskem. Naš vodilni obroč iz tantalovega karbida (TaC) je visoko zmogljiva komponenta obroča iz tantalovega karbida, ki se običajno uporablja v opremi za obdelavo polprevodnikov, zlasti v visokotemperaturnih in zelo korozivnih okoljih, kot so CVD, PVD, jedkanje in difuzija. VeTek Semiconductor je zavezan zagotavljanju napredne tehnologije in proizvodnih rešitev za industrijo polprevodnikov in pozdravlja vaša nadaljnja povpraševanja.
Preberi večPošlji povpraševanjeKot profesionalni proizvajalec, inovator in vodja izdelkov TaC Coating Rotation Susceptor na Kitajskem. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor je običajno nameščen v opremi za nanašanje s kemičnim naparjevanjem (CVD) in epitaksijo z molekularnim žarkom (MBE) za podporo in vrtenje rezin, da se zagotovi enakomerno nanašanje materiala in učinkovita reakcija. Je ključna komponenta pri obdelavi polprevodnikov. Pozdravljamo vaše nadaljnje posvetovanje.
Preberi večPošlji povpraševanje